油拡散ポンプ

ULKシリーズ

ULK-10A (Oil D-31)

アルバック

ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。
研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。

特長

  • 臨界背圧を大きく設計しています。
  • ~10-2 Pa (10-4 torr)台で性能が、非常に安定しています。
  • ルーズフランジ方式が採用されています。(ULK-04A、06Aの排気口フランジは除く)
  • ポンプの洗浄が容易にできます。(部品の分解が容易にできます)
  • 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

用途

・蒸着装置
・高真空実験装置

仕様

型式 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排気速度(L/sec) 550 500 1200 1100 3400 3000 5400 4900
到達圧力(Pa)*1 <2.6×10-5 <2.6×10-6 <2.6×10-5 <2.6×10-6 <2.6×10-5 <2.6×10-6 <2.6×10-5 <2.6×10-6
臨界背圧(Pa) 40 60 40 60 35 40 30 30
作業開始時間(min) 9 8.5 16.5 15 20 20 25 25
作動油*4 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31 ULVOIL D-11 ULVOIL D-31
油量(L) 0.15 0.35 0.8 1.5
水温(℃) 19℃~25℃
冷却水取合(サイズ) Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"
冷却水量(L/min) 1 1 1 1.5 2.5 3 2.5 3.5
電圧仕様 200V/1Φ
所要電力(kW) 0.55 0.73 0.9 1.2 2 2.4 2.25 2.4
ヒータ種類 熱盤 熱盤 熱盤 熱盤
推奨補助ポンプ*2 VD151/VD201
PVD-180/PVD-360
VD30C/VD40C/VD60C VD90C
VS1501
PKS-016/PKS-030
VS1501/VS2401/PKS-030
外形寸法*3(mm) A 175 250 340 340
B 150 180 240 240
H 344 449 650 670
吸気口 VG100 VG150 VG250 VG350
排気口 VG25 VG40 VG80 VG80
質量(kg) 7.5 13.5 47 56
オイルレベルゲージ 無し 無し ビューポート ビューポート
サーモスタットオプション 有り 有り 有り 有り
サーモスタット設定温度(℃) 250 250 180 180

*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合です。
*2 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。
*3 その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。
*4 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。

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