油拡散ポンプ

ULKシリーズ

ULK

アルバック

ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。
研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。

特長

  • 機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。
  • 2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。
  • 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

用途

・蒸着装置
・高真空実験装置

仕様

型式 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
排気速度 550 L/sec 500 L/sec 1200 L/sec 1100 L/sec 3400 L/sec 3000 L/sec 5400 L/sec 4900 L/sec
到達圧力 *1 <2.6×10-5 Pa <2.6×10-6 Pa <2.6×10-5 Pa <2.6×10-6 Pa <2.6×10-5 Pa <2.6×10-6 Pa <2.6×10-5 Pa <2.6×10-6 Pa
臨界背圧 40 Pa 60 Pa 40 Pa 60 Pa 35 Pa 40 Pa 30 Pa 30 Pa
作業開始時間 9 min 8.5 min 16.5 min 15 min 20 min 20 min 25 min 25 min
作動油 *2 ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
ULVOIL
D-11
ULVOIL
D-31
油量 0.15 L 0.35 L 0.8 L 1.5 L
水温 19℃ ~ 25℃
冷却水取合
(サイズ×系統数)
Rc 1/4" Rc 1/4" Rc 3/8" Rc 3/8"
冷却水量 1 L/min 1 L/min 1.5 L/min 2.5 L/min 3 L/min 2.5 L/min 3.5 L/min
電圧仕様 200V / 1Φ
所要電力 0.55 kW 0.73 kW 0.9 kW 1.2 kW 2.4 kW 2 kW 2.25 kW 2.4 kW
ヒーター種類 熱盤 熱盤 熱盤 熱盤
推奨補助ポンプ *3 VD151 / VD201 /
PVD-180 / PVD-360
VD30C / VD40C /
VD60C
VD90C / VS1501 /
PKS-016 / PKS-030
VS1501 / VS2401 /
PKS-030
外径寸法 *4 A 175 mm 250 mm 340 mm 340 mm
B 150 mm 180 mm 240 mm 240 mm
H 344 mm 449 mm 650 mm 670 mm
吸気口 VG100 VG150 VG250 VG350
排気口 VG25 VG40 VG80 VG80
質量 7.5 Kg 13.5 Kg 47 Kg 56 Kg
オイルレベルゲージ 無し 無し ビューポート ビューポート
サーモスタット
オプション
有り 有り 有り 有り
サーモスタット
設定温度
250 ℃ 250 ℃ 180 ℃ 180 ℃

*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合です。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。
*4 その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータ( 2D図面 , 3D図面 )でご確認ください。

排気速度曲線

  • ULK-04A / 06A
ULK-04A_06A_curves.png
  • ULK-10A / 14A
ULK-10A_14A_curves.png

寸法図

ULK.png
ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A
A 175 mm 250 mm 340 mm 340 mm
B 150 mm 180 mm 240 mm 240 mm
C 342.5 mm 449 mm 650 mm 670 mm

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