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油拡散ポンプ

ULKシリーズ

ULK

アルバック

ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。
研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。

特長

機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。
2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。
補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。

用途

・蒸着装置
・高真空実験装置

仕様

型式		ULK-04A		ULK-06A		ULK-10A		ULK-14A
排気速度		550 L/sec	500 L/sec	1200 L/sec	1100 L/sec	3400 L/sec	3000 L/sec	5400 L/sec	4900 L/sec
到達圧力 *1		＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa	＜2.6×10^-5 Pa	＜2.6×10^-6 Pa
臨界背圧		40 Pa	60 Pa	40 Pa	60 Pa	35 Pa	40 Pa	30 Pa	30 Pa
作業開始時間		9 min	8.5 min	16.5 min	15 min	20 min	20 min	25 min	25 min
作動油 *2		ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31	ULVOIL D-11	ULVOIL D-31
油量		0.15 L		0.35 L		0.8 L		1.5 L
水温		19℃ ~ 25℃
冷却水取合 (サイズ×系統数)		Rc　1/4"		Rc　1/4"		Rc　3/8"		Rc　3/8"
冷却水量		1 L/min		1 L/min	1.5 L/min	2.5 L/min	3 L/min	2.5 L/min	3.5 L/min
電圧仕様		200V / 1Φ
所要電力		0.55 kW	0.73 kW	0.9 kW	1.2 kW	2.4 kW	2 kW	2.25 kW	2.4 kW
ヒーター種類		熱盤		熱盤		熱盤		熱盤
推奨補助ポンプ *3		VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360		VD30C / VD40C / VD60C		VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030		VS1501 / VS2401 / PKS-030
外径寸法 *4	A	175 mm		250 mm		340 mm		340 mm
	B	150 mm		180 mm		240 mm		240 mm
	H	344 mm		449 mm		650 mm		670 mm
吸気口		VG100		VG150		VG250		VG350
排気口		VG25		VG40		VG80		VG80
質量		7.5 Kg		13.5 Kg		47 Kg		56 Kg
オイルレベルゲージ		無し		無し		ビューポート		ビューポート
サーモスタットオプション		有り		有り		有り		有り
サーモスタット設定温度		250 ℃		250 ℃		180 ℃		180 ℃

*1　到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合です。
*2　D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。
*3　補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。
*4　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータ（ 2D図面 , 3D図面）でご確認ください。

排気速度曲線

ULK-04A / 06A

ULK-10A / 14A

寸法図

	ULK-04A	ULK-06A	ULK-10A	ULK-14A
A	175 mm	250 mm	340 mm	340 mm
B	150 mm	180 mm	240 mm	240 mm
C	342.5 mm	449 mm	650 mm	670 mm

トラブルシューティング　油拡散ポンプ

油拡散ポンプ及び油回転ポンプの作動油相互混入の原因と対策

1. 油回転ポンプ 内に 油拡散ポンプ油 が混入する
2. 油拡散ポンプ 内に 油回転ポンプ油 が混入する

1. 油回転ポンプ内に油拡散ポンプ油が混入する

原因			対策・結果
場所	現象	理由	対策・結果
ポンプ本体	・ボイラ部の漏れ	・冷却水不足での運転・油不足での運転・ごみによる分留板内の部分的な油不足	・漏れ箇所の解消
冷却水系	・水量不足・流し方の間違い	・ポンプ壁温度の上昇・油蒸気の再蒸発分が増える	・冷却水の管理
負荷側	・ガス負荷が多過ぎる	・漏れの発生・主バルブが閉じきれない	・漏れ箇所の解消

2. 油拡散ポンプ内に油回転ポンプ油が混入する

原因			対策・結果
場所	現象	理由	対策・結果
補助ポンプ側	油回転真空ポンプ停止時の大気圧ベント忘れ	圧力差により油回転ポンプ油が油拡散ポンプ側へ移動	油回転ポンプ停止時の大気導入の実施
補助ポンプ側	40Ｐａ以下での油回転ポンプの連続運転	油逆流の多い領域での運転	油回転ポンプと油拡散ポンプ間にトラップを設ける

油拡散ポンプの油逆流、混入の原因と対策

原因			対策・結果
場所	現象	理由	対策・結果
ポンプ本体	・ジェットの設定不良・油が分留されていない	・変形、ギャップ不適切	・ギャップの修正、またはヘッドの交換
ポンプ本体	・ジェットの設定不良・油が分留されていない	・油量が多過ぎる	・適正油量にする
バッフル・トラップ形状	・均一に冷却される構造ではない	・温度むらのため、油をトラップできない	・バッフルの構造の見直し
バッフル・トラップ形状	・光学的に遮断されない	・熱流入で温度上昇し、油の再蒸発	・バッフルの構造の見直し
冷却トラップ	・トラップ温度不安定・トラップが冷えていない・冷やす期間の間違い	・冷却不足・負荷側からの熱流入・逆流の多いときに冷却されていない	・冷媒を補充・油拡散ポンプ起動時及び停止後もしばらくは冷却を行う
負荷側	・ガス負荷が多過ぎる・吸入圧が高い	・最大排気量を超えた負荷（漏れまたは放出ガス）	・過剰なガス負荷解消
負荷側	・ガス負荷が多過ぎる・吸入圧が高い	・油回転ポンプによる粗引き不足状態で油拡散ポンプの排気を開始した	・真空槽を40Ｐａまで排気した後、油拡散ポンプで本引きとする
冷却水	・水温が不適切・水量不足	・油拡散ポンプ壁の冷却不足	・適正な水温にする・水量確保
冷却水	・流し方の間違い	・油拡散ポンプ壁の冷却不足	・冷却水の入りを吸気側出を排気側パイプとする
補助ポンプ側	・作動していない	・臨界背圧以下にできない	・臨界背圧以下になるように補助ポンプの状態を確保する
補助ポンプ側	・ガスバラストを行いながら排気している	・臨界背圧以上の圧力になる	・臨界背圧以下になるように補助ポンプの状態を確保する

真空ポンプは屋外で使用できますか？

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。

（S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。

https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

真空ポンプ　セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位（Pa）

ドライ真空ポンプ

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ（大型）

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ（小型）

小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。

どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

小型油回転真空ポンプ Gシリーズは、コストパフォーマンスに優れたベーシックなシリーズです。
小型油回転真空ポンプ GHD / GLD / GKSシリーズ（スタンダードタイプ）は、サーマルプロテクター搭載に逆流防止機構を付加した当社推奨のポンプです。
小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ（耐食型）は、接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプです。

メカニカルブースタポンプ

メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。

アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

アルバックのメカニカルブースターポンプの詳細はこちらから

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

アルバックのターボ分子ポンプの詳細はこちらから

スパッタイオンポンプ

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子）の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

アルバックのスパッタイオンポンプの詳細はこちらから

オイルセレクションガイド

油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。

詳しくはこちら

真空ポンプにはどのような種類がありますか？

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

該非判定結果報告書
ダウンロード

該非判定結果　油拡散ポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

油拡散ポンプ　オプション

水冷バッフル　BW-02 水冷バッフル　BW-04B 水冷バッフル　BW-06B 水冷バッフル　BW-10 水冷バッフル　BW-14 水冷バッフル　BW-20 水冷バッフル　BW-22 水冷バッフル　BW-36 水冷バッフル　BW-52

ULK

特長

用途

仕様

排気速度曲線

寸法図