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油拡散ポンプ
ULK
アルバック
ULVACのULK型油拡散ポンプは、小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。
研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。
研究用途から製造ラインまで幅広く活用されています。
特長
- 機械的な摺動部がなく丈夫な高真空ポンプです。
- 2種類のオイルとヒータの選定により、ご希望の排気速度、到達圧力が得られます。
- 補助ポンプ側への作動液の流出防止機構を備えています。
用途
・蒸着装置
・高真空実験装置
仕様
| 型式 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||||
| 排気速度 | 550 L/sec | 500 L/sec | 1200 L/sec | 1100 L/sec | 3400 L/sec | 3000 L/sec | 5400 L/sec | 4900 L/sec | |||
| 到達圧力 *1 | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | ＜2.6×10-5 Pa | ＜2.6×10-6 Pa | |||
| 臨界背圧 | 40 Pa | 60 Pa | 40 Pa | 60 Pa | 35 Pa | 40 Pa | 30 Pa | 30 Pa | |||
| 作業開始時間 | 9 min | 8.5 min | 16.5 min | 15 min | 20 min | 20 min | 25 min | 25 min | |||
| 作動油 *2 | ULVOIL D-11 |
ULVOIL D-31 |
ULVOIL D-11 |
ULVOIL D-31 |
ULVOIL D-11 |
ULVOIL D-31 |
ULVOIL D-11 |
ULVOIL D-31 |
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| 油量 | 0.15 L | 0.35 L | 0.8 L | 1.5 L | |||||||
| 水温 | 19℃ ~ 25℃ | ||||||||||
| 冷却水取合 (サイズ×系統数) |
Rc 1/4" | Rc 1/4" | Rc 3/8" | Rc 3/8" | |||||||
| 冷却水量 | 1 L/min | 1 L/min | 1.5 L/min | 2.5 L/min | 3 L/min | 2.5 L/min | 3.5 L/min | ||||
| 電圧仕様 | 200V / 1Φ | ||||||||||
| 所要電力 | 0.55 kW | 0.73 kW | 0.9 kW | 1.2 kW | 2.4 kW | 2 kW | 2.25 kW | 2.4 kW | |||
| ヒーター種類 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | 熱盤 | |||||||
| 推奨補助ポンプ *3 | VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 |
VD30C / VD40C / VD60C |
VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030 |
VS1501 / VS2401 / PKS-030 |
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| 外径寸法 *4 | A | 175 mm | 250 mm | 340 mm | 340 mm | ||||||
| B | 150 mm | 180 mm | 240 mm | 240 mm | |||||||
| H | 344 mm | 449 mm | 650 mm | 670 mm | |||||||
| 吸気口 | VG100 | VG150 | VG250 | VG350 | |||||||
| 排気口 | VG25 | VG40 | VG80 | VG80 | |||||||
| 質量 | 7.5 Kg | 13.5 Kg | 47 Kg | 56 Kg | |||||||
| オイルレベルゲージ | 無し | 無し | ビューポート | ビューポート | |||||||
| サーモスタット オプション |
有り | 有り | 有り | 有り | |||||||
| サーモスタット 設定温度 |
250 ℃ | 250 ℃ | 180 ℃ | 180 ℃ | |||||||
*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水量20℃の場合です。
*2 D-11は炭化水素系汎用油、D-31は耐熱安定性の高いシリコン系の拡散ポンプ油です。
*3 補助ポンプの選択は、ここでは拡散ポンプの最大流量に対して行われていますが、一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプおよび油回転真空ポンプを用いる事が適当です。
*4 その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータ（ 2D図面 , 3D図面 ）でご確認ください。
