SHOWCASE

スーパートラップ

CRYO-T シリーズ

CRYO-TS14

アルバック・クライオ

1段式の冷凍機を温調する水の排気に特化したポンプ。
お客様の要望に合わせた形状等の提案ができますので、効率的な排気改善が可能です。

特長

  • 冷却、昇温は各5分程度
  • 地球温暖化の原因となるフロンガスではなくフロンHe(ヘリウム)ガスを冷媒に使用
  • フロン系コールドトラップと同様に使用可能
  • 設置スペースが約1/3の軽量コンパクト設計
  • 水分の多いパッチ式装置、光学用成膜装置に最適:あらゆる真空装置に使用可能

※当製品は特許出願中です

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