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スーパートラップ
CRYO-TS22
アルバック・クライオ
１段式の冷凍機を温調する水の排気に特化したポンプ。
お客様の要望に合わせた形状等の提案ができますので、効率的な排気改善が可能です。
お客様の要望に合わせた形状等の提案ができますので、効率的な排気改善が可能です。
特長
- 冷却、昇温は各5分程度
- 地球温暖化の原因となるフロンガスではなくフロンHe（ヘリウム）ガスを冷媒に使用
- フロン系コールドトラップと同様に使用可能
- 設置スペースが約1/3の軽量コンパクト設計
- 水分の多いパッチ式装置、光学用成膜装置に最適：あらゆる真空装置に使用可能
※当製品は特許出願中です
