ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプの導入・購入・検討について
ターボ分子ポンプは、高真空環境を実現するための重要な装置であり、半導体製造や研究施設などで広く使用されています。このポンプは、分子を高速で移動させることにより、効率的に真空を生成します。
ターボ分子ポンプは、高速回転するローターと固定されたステーターから構成されています。ローターのブレードが分子に衝突し、分子を排気口に向かって加速させることで、真空を作り出します。このプロセスは、分子の運動エネルギーを利用しており、非常に効率的です。
ターボ分子ポンプは、他の真空ポンプと比較して非常に高い排気速度を持ち、迅速に真空環境を整えることができる上、油を使用しないためクリーンな真空環境を提供でき、半導体製造などの精密な作業に最適であり、さらに低真空から超高真空まで対応可能な広範囲な適用性を持ち、さまざまな産業や研究分野で利用されています。
ターボ分子ポンプ
UTM-MS
New Product
磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300～4000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コントローラ部では運転状態のモニターが出来て、各種通信規格に対応します。
ターボ分子ポンプ
YTPｰB
YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。
大気圧から高真空までの排気が可能です。
START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。
また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。
ターボ分子ポンプ
YTP70A
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。
デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。
また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。
ターボ分子ポンプ
UTM-B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
ターボ分子ポンプ
VPT-060
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。