真空ポンプ セレクションガイド
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位（Pa）
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ターボ分子ポンプ
UTMｰB シリーズ
UTM-B
アルバック
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
特長
- 取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。 - オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。 - 高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。 - 3種類のフランジを用意
VG、ICF、ISO-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。 - 清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
用途
- 分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
- 蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
- H2、Heなどの軽ガスの主排気系
仕様
| 型式 | UTM70B | UTM300B | |||||
| ポンプ | 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| フランジ口径 | 吸気口 *1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排気口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排気速度 (保護ネットなし時) |
N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到達圧力 *2 |
ベーキング後 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
| ベーキング前 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
| 最大圧縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸気口圧力 *4, *5, *6 |
N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排気口圧力 *4, *5, *7 |
N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 連続運転最大流量 *8 |
ガス パージ無 |
N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| ガス パージ無 |
Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| ガス パージ有 |
- | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *11 |
60L/min以上 | 120L/min以上 | |||||
| 質量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
| 回転数 | 87000rpm | 60000rpm | |||||
| 起動時間(80%まで) (DC24V 背圧5Pa以下時) |
1.7分 | 3.5分 | |||||
| 表面処理 *12 | 無し | ||||||
| 取り付け方向 | 全方位 | ||||||
| 騒音 *13 | 48dB（A）以下 | 50dB（A）以下 | |||||
| 電源仕様 | 入力電源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
| 接点入出力 | REMOTE(D-sub 15ピンオス)デジタル入出力4点,アナログ出力1点 | ||||||
| シリアル通信 | RS-485(D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用) | ||||||
| LED表示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
| スイッチ | START/STOP,RESET | ||||||
| 回転数可変 | ポンプ既定回数の25%～100%の間で回転数の変更が可能(設定は0.1%単位) | ||||||
| 異常検出 | アラーム,ワーニングを検出 | ||||||
| 保護動作 | アラーム,ワーニングを表示 | ||||||
| 標準付属品 | 取扱説明書(CD-R), 保護ネット(VG, ICFのみ。ISOフランジはガスケットに組み込み), ガスケット(吸気口用), ダストキャップ(吸気口, 排気口, コネクタ用) 各1 |
||||||
| 適応規格 | CE、TUVus | ||||||
| *1 | ご注文時に吸気口フランジを選択ください。 |
| *2 | 2段式補助ポンプ使用時 |
| *3 | ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。 |
| *4 | 周囲温度25℃の時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。 |
| *5 | 最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。 |
| *6 | 連続排気可能な最大吸気口圧力です。 |
| *7 | 吸気口からの排気ガス流量0 sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。 |
| *8 | 周囲温度が5～25℃の場合の値です。ガスパージはN2ガス25sccmでご使用ください。 |
| *9 | 補助ポンプ60L/min使用時の値です。 |
| *10 | 補助ポンプ120L/min使用時の値です。 |
| *11 | ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。 |
| *12 | 反応性ガス、腐食性ガス、Ga含有ガスを流さないでください。その他についてはお問い合わせください。 |
| *13 | ISOフランジタイプ。当社測定法による。 |
寸法図
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真空ポンプは屋外で使用できますか？
屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？
排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
（S=Q/P)
真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。
詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html
真空ポンプ セレクションガイド
ドライ真空ポンプ
ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。
アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
油回転真空ポンプ（大型）
油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。
アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
油回転真空ポンプ（小型）
小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。
- 小型油回転真空ポンプ Gシリーズは、コストパフォーマンスに優れたベーシックなシリーズです。
- 小型油回転真空ポンプ GHD / GLD / GKSシリーズ（スタンダードタイプ）は、サーマルプロテクター搭載に逆流防止機構を付加した当社推奨のポンプです。
- 小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ（耐食型）は、接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプです。
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。
真空ポンプにはどのような種類がありますか？
真空ポンプにはどのような種類がありますか？
一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。
真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。
この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。
これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。
つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。
これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。
真空ポンプの種類
