ターボ分子ポンプ

UTMーB シリーズ

UTM300B

アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

特長

  • 取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。
  • オンボードコントローラを搭載。コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。
  • 圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能です。
  • VG100、ICF152、ISO100-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。
  • 運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
  • 無負荷運転時の騒音は50dB以下と静かです。(ISO-100Kフランジタイプの測定値です)
  • CE、NRTL適合

用途

  • 分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
  • 蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
  • H2、Heなどの軽ガスの主排気系

仕様

型式
UTM300B
冷却方式 自然空冷 強制空冷
吸気口側フランジ *1 VG100, ICF152, ISO100-K
排気口側フランジ KF16
排気速度(保護ネット無し時)
N2
280 L/s
He
270 L/s
H2
220 L/s
到達圧力(2段式補助ポンプ使用時)
ベーキング後
*2 10-8Pa
ベーキング前
10-6Pa 10-6Pa
最大圧縮比 N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105
最大吸気口圧力 *3, *4, *5
N2
0.06Pa 0.7Pa
最大排気口圧力 *3, *4, *6
N2
100Pa 1000Pa
連続運転最大流量 *7
補助ポンプ120L/min使用時
ガスパージ無
N2
10sccm 100sccm
ガスパージ無
Ar
- 30sccm
ガスパージ有
- 40sccm
推奨補助ポンプ(10SCCM吸引時)*8 120L/min以上
質量
VG, ISO / ICF
6kg / 9kg 6.3kg / 9.3kg
回転数 60000rpm
起動時間(80%まで)(DC24V 背圧5Pa以下時) 3.5分
表面処理 *9 無し
取り付け方向 全方位
騒音 *10 50dB(A)未満
標準付属品 取扱説明書(和英併記)、保護ネットキャップ(VG,ICFのみ、
ISOフランジはガスケットに組み込み)、ガスケット(吸気口用)、
ダストキャップ(吸気口,排気口,コネクタ用)各1
*1 ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。
*2 ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。
*3 周囲温度25℃の時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。
*4 最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。
*5 連続排気可能な最大吸気口圧力です。
*6 吸気口からの排気ガス流量0 sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。
*7 周囲温度が5~25℃の場合の値です。ガスパージはN2ガス25sccmでご使用ください。
*8 ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。
*9 反応性ガス、腐食性ガス、Ga含有ガスを流さないでください。その他についてはお問い合わせください。
*10 ISOフランジタイプ。当社測定法による。

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