UTM70B

アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

特長

取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。
オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。
高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。
3種類のフランジを用意
VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。
清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
騒音
無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。（ISO63-Kフランジタイプの測定値です。）

用途

分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
H2、Heなどの軽ガスの主排気系

仕様

型式				UTM70B
ポンプ
	冷却方式			自然空冷	強制空冷
	吸気口側フランジ *1			VG65, ICF114, ISO063-K
	排気口側フランジ			KF16
	排気速度（保護ネット無し時）		N₂	70 L/s
			He	60 L/s
			H₂	49 L/s
	到達圧力（2段式補助ポンプ使用時）2,3	ベーキング後		-	10^-8Pa
		ベーキング前		10^-6Pa
	最大圧縮比			N₂ : >1×10⁹, He : 4×10⁷, H₂ : 4×10⁵
	最大吸気口圧力 4, 5, *6		N₂	0.43Pa	1.1Pa
	最大排気口圧力 4, 5, *7		N₂	300Pa	900Pa
	連続運転最大流量 *8 補助ポンプ60L/min使用時	ガスパージ無	N₂	15sccm	40sccm
		ガスパージ無	Ar	-	10sccm
		ガスパージ有		-	15sccm
	推奨補助ポンプ（10SCCM吸引時）*9			60L/min以上
	質量*10			VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg
	回転数			87000rpm
	起動時間（80%まで）（DC24V 背圧5Pa以下時）			1.7分
	表面処理 *11			無し
	取り付け方向			全方位
	騒音 *12			48dB（A）以下
電源仕様
	入力電源			DC24V ±5%, 120W
	接点入出力			REMOTE(D-sub 15ピンオス) デジタル入力4点,アナログ出力1点
	シリアル通信			RS-485(D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用)
	LED表示			POWER,NORMAL,ALARM
	スイッチ			START/STOP,RESET
	回転数可変			ポンプ既定回数の25%～100%の間で回転数の変更が可能(設定は0.1%単位)
	異常検出			アラーム,ワーニングを検出
	保護動作			アラーム,ワーニングを表示
標準付属品				取扱説明書（CD-R）,保護ネット(VG,ICFのみ。ISOフランジはガスケットに組み込み),ガスケット（吸気口用）、ダストキャップ（吸気口，排気口，コネクタ用）各1

*1	ご注文時にVG65,ICF114,ISO63-Kから選択ください。
*2	オーダーを示します。
*3	ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。
*4	周囲温度25℃の時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。
*5	最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。
*6	連続排気可能な最大吸気口圧力です。
*7	吸気口からの排気ガス流量0sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。
*8	周囲温度が5～25℃の場合の値です。ガスパージはN₂ガス25sccmでご使用ください。
*9	ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。
*10	空冷ファンを取り付けたUTM70Bの質量は0.2kg重くなります。
*11	反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。
*12	ISOフランジタイプ。当社測定法によります。

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DXF図面該非判定カタログ

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特長

取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。

オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。

高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。

3種類のフランジを用意
VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。

清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。

騒音
無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。（ISO63-Kフランジタイプの測定値です。）

仕様

型式				UTM70B
ポンプ
	冷却方式			自然空冷	強制空冷
	吸気口側フランジ *1			VG65, ICF114, ISO063-K
	排気口側フランジ			KF16
	排気速度（保護ネット無し時）		N₂	70 L/s
			He	60 L/s
			H₂	49 L/s
	到達圧力（2段式補助ポンプ使用時）2,3	ベーキング後		-	10^-8Pa
		ベーキング前		10^-6Pa
	最大圧縮比			N₂ : >1×10⁹, He : 4×10⁷, H₂ : 4×10⁵
	最大吸気口圧力 4, 5, *6		N₂	0.43Pa	1.1Pa
	最大排気口圧力 4, 5, *7		N₂	300Pa	900Pa
	連続運転最大流量 *8 補助ポンプ60L/min使用時	ガスパージ無	N₂	15sccm	40sccm
		ガスパージ無	Ar	-	10sccm
		ガスパージ有		-	15sccm
	推奨補助ポンプ（10SCCM吸引時）*9			60L/min以上
	質量*10			VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg
	回転数			87000rpm
	起動時間（80%まで）（DC24V 背圧5Pa以下時）			1.7分
	表面処理 *11			無し
	取り付け方向			全方位
	騒音 *12			48dB（A）以下
電源仕様
	入力電源			DC24V ±5%, 120W
	接点入出力			REMOTE(D-sub 15ピンオス) デジタル入力4点,アナログ出力1点
	シリアル通信			RS-485(D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用)
	LED表示			POWER,NORMAL,ALARM
	スイッチ			START/STOP,RESET
	回転数可変			ポンプ既定回数の25%～100%の間で回転数の変更が可能(設定は0.1%単位)
	異常検出			アラーム,ワーニングを検出
	保護動作			アラーム,ワーニングを表示
標準付属品				取扱説明書（CD-R）,保護ネット(VG,ICFのみ。ISOフランジはガスケットに組み込み),ガスケット（吸気口用）、ダストキャップ（吸気口，排気口，コネクタ用）各1

ご注文時にVG65,ICF114,ISO63-Kから選択ください。

オーダーを示します。

ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。

周囲温度25℃の時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。

最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。

連続排気可能な最大吸気口圧力です。

吸気口からの排気ガス流量0sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。

周囲温度が5～25℃の場合の値です。ガスパージはN₂ガス25sccmでご使用ください。

ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。

*10

空冷ファンを取り付けたUTM70Bの質量は0.2kg重くなります。

*11

反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。

*12

ISOフランジタイプ。当社測定法によります。