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ターボ分子ポンプ
UTM-B
アルバック
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
特長
- 取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。 - オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。 - 高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。 - 3種類のフランジを用意
VG、ICF、ISO-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。 - 清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
用途
- 分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
- 蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
- H2、Heなどの軽ガスの主排気系
仕様
| 型式 | UTM70B | UTM300B | |||||
| ポンプ | 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| フランジ口径 | 吸気口 *1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排気口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排気速度 (保護ネットなし時) |
N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到達圧力 *2 |
ベーキング後 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
| ベーキング前 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
| 最大圧縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸気口圧力 *4, *5, *6 |
N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排気口圧力 *4, *5, *7 |
N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 連続運転最大流量 *8 |
ガス パージ無 |
N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| ガス パージ無 |
Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| ガス パージ有 |
- | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推奨補助ポンプ (10SCCM吸引時) *11 |
60L/min以上 | 120L/min以上 | |||||
| 質量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
| 回転数 | 87000rpm | 60000rpm | |||||
| 起動時間(80%まで) (DC24V 背圧5Pa以下時) |
1.7分 | 3.5分 | |||||
| 表面処理 *12 | 無し | ||||||
| 取り付け方向 | 全方位 | ||||||
| 騒音 *13 | 48dB（A）以下 | 50dB（A）以下 | |||||
| 電源仕様 | 入力電源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
| 接点入出力 | REMOTE(D-sub 15ピンオス)デジタル入出力4点,アナログ出力1点 | ||||||
| シリアル通信 | RS-485(D-sub 15ピンオス,REMOTEと共用) | ||||||
| LED表示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
| スイッチ | START/STOP,RESET | ||||||
| 回転数可変 | ポンプ既定回数の25%～100%の間で回転数の変更が可能(設定は0.1%単位) | ||||||
| 異常検出 | アラーム,ワーニングを検出 | ||||||
| 保護動作 | アラーム,ワーニングを表示 | ||||||
| 標準付属品 | 取扱説明書(CD-R), 保護ネット(VG, ICFのみ。ISOフランジはガスケットに組み込み), ガスケット(吸気口用), ダストキャップ(吸気口, 排気口, コネクタ用) 各1 |
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| 適応規格 | CE、TUVus | ||||||
| *1 | ご注文時に吸気口フランジを選択ください。 |
| *2 | 2段式補助ポンプ使用時 |
| *3 | ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。 |
| *4 | 周囲温度25℃の時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。 |
| *5 | 最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。 |
| *6 | 連続排気可能な最大吸気口圧力です。 |
| *7 | 吸気口からの排気ガス流量0 sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。 |
| *8 | 周囲温度が5～25℃の場合の値です。ガスパージはN2ガス25sccmでご使用ください。 |
| *9 | 補助ポンプ60L/min使用時の値です。 |
| *10 | 補助ポンプ120L/min使用時の値です。 |
| *11 | ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助ポンプを選定ください。 |
| *12 | 反応性ガス、腐食性ガス、Ga含有ガスを流さないでください。その他についてはお問い合わせください。 |
| *13 | ISOフランジタイプ。当社測定法による。 |
寸法図
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