ターボ分子ポンプ

UTMーFHシリーズ

UTM-FH

アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・省エネ対応などの優位性を実現します。
FHシリーズは、高背圧・高圧縮型で、水素圧縮比を向上したライト~ミドルプロセス用に最適です。

特長

  • 監視・自己診断機能、通信機能を搭載し、デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。
  • カップリングフリーシステムの搭載。1台のパワーサプライで、機種切替により登録されている
    ポンプ本体との組合せ運転が可能。
  • 背圧の変化に対して安定した排気特性を維持させることが可能。
  • 優れた耐食表面処理(Niめっき+カチオン電着塗装、特殊積層被膜、アルマイトなど)の
    オプション対応も可能。
  • 全方向取付が可能。
  • スピードバリアブルシステム搭載。排気速度を25%~100%の範囲で可変。
  • 破壊エネルギー吸収構造採用により、不具合時の装置ダメージを小さくする高安全設計。
  • 大気突入試験・各種タッチダウン試験・回転翼破壊試験・異物混入(ウェハ落下)試験などを実施し、
    高耐久性と高信頼性を実現。
  • CE対応

用途

  • 蒸着装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置などの副反応生成物の無いライト~
    ミドルプロセスの主排気
  • 分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気
  • 上記排気系のH2・Heなどの軽ガスの主排気
  • TMPを多連で使用し、バックポンプを集中排気で使用する用途

仕様

型式   UTM-350FH UTM-480FH UTM-800FH UTM-1001FH UTM-3303FH
フランジ口径 吸気口 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253 VG350
排気口 NW25 NW40
排気速度*1*2 L/sec N2 350 330 480 480 810 740 1000 1000 3300
H2 320 310 340 340 530 520 570 570 2400
到達圧力*1*3 Pa 10-8
最大圧縮比*1*3 N2 >1010 >109 >1011
H2 1 x 104 3 x 104 9 x 104
N2最大吸気口圧力
(最大流量時)*1*4
水冷 Pa 43 18 9
空冷 8 0.7 -
N2最大排気口圧力
(最大流量時)*1*4
水冷 Pa 410 180 210
空冷 240 50 -
N2連続運転
最大流量*4
水冷 SCCM 850 1100 1800
空冷 480 260 -
Ar連続運転
最大流量*4
水冷 SCCM 370 480 1100
空冷 160 110 -
回転数 rpm 45000 36000 22200
起動時間 /停止時間 min 約 4.0 / 4.0 約 6.0 / 10.0 約 12 / 16
軸受方式 デジタル5軸制御磁気軸受
動翼表面処理 ニッケルめっき 無処理
本体ベーキング
温度
≦120
冷却方式 水冷/空冷 選択可能 水冷
冷却水接続口 Rc 3/8
冷却水流量 L/min ≧3.0
冷却水
出入口差圧
MPa ≧0.05
ガスパージ口 NW10 なし
ガスパージ流量 SCCM 10 25 なし
本体質量 kg 17 28 86
標準補助ポンプ*5 L/min 290 800 1500
騒音 dBA 64 65 55
電源容量 kVA 0.6 0.9 1.6
入力電圧 ACV 単相 200~240
入力周波数 Hz 50 / 60
モータ駆動方式 VVVF
定常時出力周波数 Hz 750 600 370
許容周囲温度 0~40
質量 kg 10.0
取得規格 CE

注)本仕様表の値は実測データの代表値であり、保証値ではありません。
*1 JVIS005規格による計測値。またその計測値に基づく計算値。
*2 保護金網装着無しの値。
*3 オーダーを示す。
*4 標準の表面処理で標準補助ポンプで排気した値。
  最大吸気圧力近傍で長時間連続して使用される場合はご相談願います。
*5 ガス流量に応じて適宜、容量の大きなポンプを選定してください。

寸法図

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真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。


(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

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ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

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油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
真空ポンプにはどのような種類がありますか?

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

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該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 ターボ分子ポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

この製品に関するお問い合わせ

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