ターボ分子ポンプ

UTM-MIシリーズ

UTM-MI

アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。
ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

特長

  • ポンプ本体とコントローラが一体
    ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引き回し作業が不要です。
  • 自由な取付方向
    取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。
  • 排気速度1000L/s ~ 3000L/sクラスをラインナップ。
  • ライトプロセス向けの広域大流量設計
  • ポンプ回転数を25 ~ 100%の範囲で可変
    回転数は可変することができ、チャンバーの圧力調整ができます。
  • 高い耐久性と安全性
    大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。

用途

  • 各種装置の真空主排気系
    - 半導体製造装置
    - 蒸着装置
    - スパッタリング装置
    - 分析装置 ,実験装置など
    - 研究開発設備
  • 副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
  • 油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
  • その他、高真空排気用途全般

仕様

型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
吸気口 VG150 ISO160F VG200 VG250 ISO200F ISO250F VG250 ISO250F VG300 VG350 ISO320F
排気口 KF40
到達圧力 *1 10-7 Pa
排気速度 *2*3 N2 1030 L/s 1400 L/s 2100 L/s 3200 L/s
Ar 980 L/s 1330 L/s 2000 L/s 3100 L/s
H2 660 L/s 750 L/s 1380 L/s 2100 L/s
圧縮比 N2 2×108 1×108 以上 1×109 以上
He 7×103 5×103 1×105
H2 8×102 9×102 6×103
最大吸気口圧力 *4 26 Pa 4.5 Pa 7 Pa
最大排気口圧力 *4 266 Pa 200 Pa 270 Pa
回転数 37200 min-1 33700 min-1 27600 min-1
回転数可変機能 ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1%単位) 
起動時間 8分以内 9分以内 16分以内
取付方向 全方位取付可能
表面処理 *5 無し
外部制御 リモート
インター
フェイス
D-sub25ピンメス 接点入出力 D-sub37ピンメス 接点入出力
シリアル
インター
フェイス
専用丸型コネクタ RS232C/RS485 D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ 構成 ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源 単相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz)
最大所要動力 0.75kVA 1.2kVA
冷却方式 水冷
冷却水 *6 流量 3~4 L/min
水圧 0.2 ~ 0.4 MPaG
騒音 57 dB(A) 60 dB(A)
質量 43 kg 41 kg 56 kg 94 kg
推奨補助ポンプ *7 600L/min以上 1500L/min以上
適合規格 CE、TUVus
標準付属品 吸気口用Oリング(VGのみ)、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM) 
選択仕様 ACケーブル ACコネクタ/ACケーブル(5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト M10/M12
ポンプ固定用特殊ボルト要否 要(M10) *8 不要 *8
オプション品 ガスポート用アダプタ:KF10
*1 オーダーを示す。
*2 保護ネットなしの場合の値です。
*3 UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
*4 最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。
*5 反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。
*6 結露しないこと。
*7 30SCCM吸引時。
*8 ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。

寸法図

UTM-MI_size.png

  • 外形寸法

(mm)

A B C D E
UTM1200A VG150 235 439 218 - 285
ISO160F 225 442 218 - 285
UTM1600A VG200 300 374 218 - 285
ISO200F 285 374 218 - 285
VG250 350 374 218 - 285
ISO250F 335 374 218 - 285
UTM2300A VG250 350 376 233 245 310
ISO250F 335 376 233 245 310
UTM3400A VG300 400 462 233 245 360
VG350 450 462 233 245 360
ISO320F 425 467 233 245 360

注)排気口、ガスパージポート、冷却水バルブ、冷却水バルブコネクタの位置や位相は機種毎に異なりますので
  詳細は仕様書参照願います。

真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。


(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

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ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

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油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
真空ポンプにはどのような種類がありますか?

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

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該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 ターボ分子ポンプ

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オプションパーツ・消耗品

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