UTM1200A

アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。
ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

特長

ポンプ本体とコントローラが一体
自由な取付方向
取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。
排気速度1000L/s ～ 4000L/sクラスをラインナップ。
ライトプロセス向けの広域大流量設計
ポンプ回転数を25 ～ 100%の範囲で可変回転数は可変可能、チャンバーの圧力調整ができます。
高い耐久性と安全性
大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。

用途

各種装置の真空主排気系
・半導体製造装置
・蒸着装置
・スパッタリング装置
・分析装置 ,実験装置など
・研究開発設備
副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
その他、高真空排気用途全般

仕様

型式			UTM1200A	UTM1600A	UTM2300A	UTM3400A
吸気口			VG150 ISO160F	VG200/VG250 ISO200F/ISO250F	VG250 ISO250F	VG300/VG350 ISO320F
排気口			KF40
到達圧力(*1)		Pa	10^-7
排気速度 (2)(3)	N2	L/s	1030	1400	2100	3200
	Ar	L/s	980	1330	2000	3100
	H2	L/s	660	750	1380	2100
圧縮比	N2		2×10⁸		1×10⁸ 以上	1×10⁹ 以上
	He		7×10³		5×10³	1×10⁵
	H2		8×10²		9×10²	6×10³
最大吸気口圧力(*4)		Pa	26		4.5	7
最大排気口圧力(*4)		Pa	266		200	270
回転数		min-1	37200		33700	27600
回転数可変機能			ポンプの規定回転数の25% ～100%の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1%単位）
起動時間			8分以内		9分以内	16分以内
取付方向			全方位取付可能
表面処理(*5)			無し
外部制御	リモートインターフェイス		D-sub25ピンメス接点入出力		D-sub37ピンメス接点入出力
	シリアルインターフェイス		専用丸型コネクタ RS232C/RS485		D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ	構成		ポンプ本体と一体（底部に内蔵）
	電源		単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
	最大所要動力		0.75kVA		1.2kVA
冷却方式			水冷
冷却水(*6)	流量	L/min	3～4
	水圧	MPaG	0.2 ～ 0.4
騒音		dB(A)	57		60
質量		kg	43	41	56	94
推奨補助ポンプ(*7)			600L/min以上		1500L/min以上
適合規格			CE、TUVus
標準付属品			吸気口用Oリング（VGのみ）、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書（CD-ROM)
選択仕様	ACケーブル		ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m）
	ポンプ固定用特殊ボルト		M10（RoHS非対応/RoHS対応）/M12（RoHS非対応/RoHS対応）
ポンプ固定用特殊ボルト要否			要（M10）（*8）	不要（*8）
オプション品			ガスポート用アダプタ：KF10

*1：オーダーを示す。　

*2：保護ネットなしの場合の値です。　

*3：UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。　

*4：最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。

*5：反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。　

*6：結露しないこと。　

*7：30SCCM吸引時。　

*8：ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。

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特長

ポンプ本体とコントローラが一体

自由な取付方向
取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。

排気速度1000L/s ～ 4000L/sクラスをラインナップ。

ライトプロセス向けの広域大流量設計
ポンプ回転数を25 ～ 100%の範囲で可変回転数は可変可能、チャンバーの圧力調整ができます。

高い耐久性と安全性
大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。

用途

各種装置の真空主排気系
・半導体製造装置
・蒸着装置
・スパッタリング装置
・分析装置 ,実験装置など
・研究開発設備

副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系

油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え

その他、高真空排気用途全般

仕様

型式			UTM1200A	UTM1600A	UTM2300A	UTM3400A
吸気口			VG150 ISO160F	VG200/VG250 ISO200F/ISO250F	VG250 ISO250F	VG300/VG350 ISO320F
排気口			KF40
到達圧力(*1)		Pa	10^-7
排気速度 (2)(3)	N2	L/s	1030	1400	2100	3200
	Ar	L/s	980	1330	2000	3100
	H2	L/s	660	750	1380	2100
圧縮比	N2		2×10⁸		1×10⁸ 以上	1×10⁹ 以上
	He		7×10³		5×10³	1×10⁵
	H2		8×10²		9×10²	6×10³
最大吸気口圧力(*4)		Pa	26		4.5	7
最大排気口圧力(*4)		Pa	266		200	270
回転数		min-1	37200		33700	27600
回転数可変機能			ポンプの規定回転数の25% ～100%の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1%単位）
起動時間			8分以内		9分以内	16分以内
取付方向			全方位取付可能
表面処理(*5)			無し
外部制御	リモートインターフェイス		D-sub25ピンメス接点入出力		D-sub37ピンメス接点入出力
	シリアルインターフェイス		専用丸型コネクタ RS232C/RS485		D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ	構成		ポンプ本体と一体（底部に内蔵）
	電源		単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
	最大所要動力		0.75kVA		1.2kVA
冷却方式			水冷
冷却水(*6)	流量	L/min	3～4
	水圧	MPaG	0.2 ～ 0.4
騒音		dB(A)	57		60
質量		kg	43	41	56	94
推奨補助ポンプ(*7)			600L/min以上		1500L/min以上
適合規格			CE、TUVus
標準付属品			吸気口用Oリング（VGのみ）、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書（CD-ROM)
選択仕様	ACケーブル		ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m）
	ポンプ固定用特殊ボルト		M10（RoHS非対応/RoHS対応）/M12（RoHS非対応/RoHS対応）
ポンプ固定用特殊ボルト要否			要（M10）（*8）	不要（*8）
オプション品			ガスポート用アダプタ：KF10