真空ポンプ セレクションガイド
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位(Pa)
ターボ分子ポンプ
UTM-MIシリーズ
アルバック
型式 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
吸気口 | VG150 ISO160F |
VG200/VG250 ISO200F/ISO250F |
VG250 ISO250F |
VG300/VG350 ISO320F |
||
排気口 | KF40 | |||||
到達圧力(*1) | Pa | 10-7 | ||||
排気速度 (*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
圧縮比 | N2 | 2×108 | 1×108 以上 | 1×109 以上 | ||
He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
最大吸気口圧力(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
最大排気口圧力(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
回転数 | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
回転数可変機能 | ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1%単位) | |||||
起動時間 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||
取付方向 | 全方位取付可能 | |||||
表面処理(*5) | 無し | |||||
外部制御 | リモートインターフェイス | D-sub25ピンメス 接点入出力 | D-sub37ピンメス 接点入出力 | |||
シリアルインターフェイス | 専用丸型コネクタ RS232C/RS485 | D-sub9ピンオス RS232C/RS485 | ||||
コントローラ | 構成 | ポンプ本体と一体(底部に内蔵) | ||||
電源 | 単相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz) | |||||
最大所要動力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水(*6) | 流量 | L/min | 3~4 | |||
水圧 | MPaG | 0.2 ~ 0.4 | ||||
騒音 | dB(A) | 57 | 60 | |||
質量 | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
推奨補助ポンプ(*7) | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
適合規格 | CE、TUVus | |||||
標準付属品 | 吸気口用Oリング(VGのみ)、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM) | |||||
選択仕様 | ACケーブル | ACコネクタ/ACケーブル(5m/10m/15m/20m) | ||||
ポンプ固定用特殊ボルト | M10(RoHS非対応/RoHS対応)/M12(RoHS非対応/RoHS対応) | |||||
ポンプ固定用特殊ボルト要否 | 要(M10)(*8) | 不要(*8) | ||||
オプション品 | ガスポート用アダプタ:KF10 |
*1:オーダーを示す。
*2:保護ネットなしの場合の値です。
*3:UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
*4:最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。
*5:反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。
*6:結露しないこと。
*7:30SCCM吸引時。
*8:ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。
屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)
詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位(Pa)
ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。
油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。
アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。
一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。
真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。
この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。
これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。
つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。
これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。
この製品に関するお問い合わせ
型式 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||
吸気口 | VG150 ISO160F |
VG200/VG250 ISO200F/ISO250F |
VG250 ISO250F |
VG300/VG350 ISO320F |
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排気口 | KF40 | |||||
到達圧力(*1) | Pa | 10-7 | ||||
排気速度 (*2)(*3) | N2 | L/s | 1030 | 1400 | 2100 | 3200 |
Ar | L/s | 980 | 1330 | 2000 | 3100 | |
H2 | L/s | 660 | 750 | 1380 | 2100 | |
圧縮比 | N2 | 2×108 | 1×108 以上 | 1×109 以上 | ||
He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||
H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||
最大吸気口圧力(*4) | Pa | 26 | 4.5 | 7 | ||
最大排気口圧力(*4) | Pa | 266 | 200 | 270 | ||
回転数 | min-1 | 37200 | 33700 | 27600 | ||
回転数可変機能 | ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1%単位) | |||||
起動時間 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||
取付方向 | 全方位取付可能 | |||||
表面処理(*5) | 無し | |||||
外部制御 | リモートインターフェイス | D-sub25ピンメス 接点入出力 | D-sub37ピンメス 接点入出力 | |||
シリアルインターフェイス | 専用丸型コネクタ RS232C/RS485 | D-sub9ピンオス RS232C/RS485 | ||||
コントローラ | 構成 | ポンプ本体と一体(底部に内蔵) | ||||
電源 | 単相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz) | |||||
最大所要動力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||
冷却方式 | 水冷 | |||||
冷却水(*6) | 流量 | L/min | 3~4 | |||
水圧 | MPaG | 0.2 ~ 0.4 | ||||
騒音 | dB(A) | 57 | 60 | |||
質量 | kg | 43 | 41 | 56 | 94 | |
推奨補助ポンプ(*7) | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
適合規格 | CE、TUVus | |||||
標準付属品 | 吸気口用Oリング(VGのみ)、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM) | |||||
選択仕様 | ACケーブル | ACコネクタ/ACケーブル(5m/10m/15m/20m) | ||||
ポンプ固定用特殊ボルト | M10(RoHS非対応/RoHS対応)/M12(RoHS非対応/RoHS対応) | |||||
ポンプ固定用特殊ボルト要否 | 要(M10)(*8) | 不要(*8) | ||||
オプション品 | ガスポート用アダプタ:KF10 |
*1:オーダーを示す。
*2:保護ネットなしの場合の値です。
*3:UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
*4:最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。
*5:反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。
*6:結露しないこと。
*7:30SCCM吸引時。
*8:ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。
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