ターボ分子ポンプ

UTM-MIシリーズ

UTM3400A

アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。
ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

特長

  • ポンプ本体とコントローラが一体
  • 自由な取付方向
    取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。
  • 排気速度1000L/s ~ 4000L/sクラスをラインナップ。
  • ライトプロセス向けの広域大流量設計
    ポンプ回転数を25 ~ 100%の範囲で可変 回転数は可変可能、チャンバーの圧力調整ができます。
  • 高い耐久性と安全性
    大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。

用途

  • 各種装置の真空主排気系
    ・半導体製造装置
    ・蒸着装置
    ・スパッタリング装置
    ・分析装置,実験装置など
    ・研究開発設備
  • 副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
  • 油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
  • その他、高真空排気用途全般

仕様


型式 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A
吸気口 VG150
ISO160F
VG200/VG250
ISO200F/ISO250F
VG250
ISO250F
VG300/VG350
ISO320F
排気口 KF40
到達圧力(*1) Pa 10-7
排気速度 (*2)(*3) N2 L/s 1030 1400 2100 3200
Ar L/s 980 1330 2000 3100
H2 L/s 660 750 1380 2100
圧縮比 N2 2×108 1×108 以上 1×109 以上
He 7×103 5×103 1×105
H2 8×102 9×102 6×103
最大吸気口圧力(*4) Pa 26 4.5 7
最大排気口圧力(*4) Pa 266 200 270
回転数 min-1 37200 33700 27600
回転数可変機能 ポンプの規定回転数の25% ~100%の間で、運転回転数の変更が可能。(設定は0.1%単位) 
起動時間 8分以内 9分以内 16分以内
取付方向 全方位取付可能
表面処理(*5) 無し
外部制御 リモートインターフェイス D-sub25ピンメス 接点入出力 D-sub37ピンメス 接点入出力
シリアルインターフェイス 専用丸型コネクタ RS232C/RS485 D-sub9ピンオス RS232C/RS485
コントローラ 構成 ポンプ本体と一体(底部に内蔵)
電源 単相AC200 ~240V ±10%(50/60Hz ±2Hz)
最大所要動力 0.75kVA 1.2kVA
冷却方式 水冷
冷却水(*6) 流量 L/min 3~4
水圧 MPaG 0.2 ~ 0.4
騒音 dB(A) 57 60
質量 kg 43 41 56 94
推奨補助ポンプ(*7) 600L/min以上 1500L/min以上
適合規格 CE、TUVus
標準付属品 吸気口用Oリング(VGのみ)、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書(CD-ROM) 
選択仕様 ACケーブル ACコネクタ/ACケーブル(5m/10m/15m/20m)
ポンプ固定用特殊ボルト M10(RoHS非対応/RoHS対応)/M12(RoHS非対応/RoHS対応)
ポンプ固定用特殊ボルト要否 要(M10)(*8) 不要(*8)
オプション品 ガスポート用アダプタ:KF10

*1:オーダーを示す。 

*2:保護ネットなしの場合の値です。 

*3:UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。 

*4:最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。

*5:反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。 

*6:結露しないこと。 

*7:30SCCM吸引時。 

*8:ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。

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