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ターボ分子ポンプ
UTM-MI
アルバック
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。
ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。
特長
- ポンプ本体とコントローラが一体
ポンプ本体とコントローラ間の面倒な配線引き回し作業が不要です。 - 自由な取付方向
取付方向に制限が無いため、装置設計の自由度が広がります。 - 排気速度1000L/s ～ 3000L/sクラスをラインナップ。
- ライトプロセス向けの広域大流量設計
- ポンプ回転数を25 ～ 100%の範囲で可変
回転数は可変することができ、チャンバーの圧力調整ができます。 - 高い耐久性と安全性
大気突入試験、タッチダウン試験など、各種安全性確認試験をクリアしています。
用途
- 各種装置の真空主排気系
- 半導体製造装置
- 蒸着装置
- スパッタリング装置
- 分析装置 ,実験装置など
- 研究開発設備 - 副反応生成物が発生しないライトプロセスの主排気系
- 油拡散ポンプ搭載装置からの置き換え
- その他、高真空排気用途全般
仕様
| 型式 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 吸気口 | VG150 | ISO160F | VG200 | VG250 | ISO200F | ISO250F | VG250 | ISO250F | VG300 | VG350 | ISO320F | |
| 排気口 | KF40 | |||||||||||
| 到達圧力 *1 | 10-7 Pa | |||||||||||
| 排気速度 *2*3 | N2 | 1030 L/s | 1400 L/s | 2100 L/s | 3200 L/s | |||||||
| Ar | 980 L/s | 1330 L/s | 2000 L/s | 3100 L/s | ||||||||
| H2 | 660 L/s | 750 L/s | 1380 L/s | 2100 L/s | ||||||||
| 圧縮比 | N2 | 2×108 | 1×108 以上 | 1×109 以上 | ||||||||
| He | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| 最大吸気口圧力 *4 | 26 Pa | 4.5 Pa | 7 Pa | |||||||||
| 最大排気口圧力 *4 | 266 Pa | 200 Pa | 270 Pa | |||||||||
| 回転数 | 37200 min-1 | 33700 min-1 | 27600 min-1 | |||||||||
| 回転数可変機能 | ポンプの規定回転数の25% ～100%の間で、運転回転数の変更が可能。（設定は0.1%単位） | |||||||||||
| 起動時間 | 8分以内 | 9分以内 | 16分以内 | |||||||||
| 取付方向 | 全方位取付可能 | |||||||||||
| 表面処理 *5 | 無し | |||||||||||
| 外部制御 | リモート インター フェイス |
D-sub25ピンメス 接点入出力 | D-sub37ピンメス 接点入出力 | |||||||||
| シリアル インター フェイス |
専用丸型コネクタ RS232C/RS485 | D-sub9ピンオス RS232C/RS485 | ||||||||||
| コントローラ | 構成 | ポンプ本体と一体（底部に内蔵） | ||||||||||
| 電源 | 単相AC200 ～240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||||
| 最大所要動力 | 0.75kVA | 1.2kVA | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||||||||
| 冷却水 *6 | 流量 | 3～4 L/min | ||||||||||
| 水圧 | 0.2 ～ 0.4 MPaG | |||||||||||
| 騒音 | 57 dB(A) | 60 dB(A) | ||||||||||
| 質量 | 43 kg | 41 kg | 56 kg | 94 kg | ||||||||
| 推奨補助ポンプ *7 | 600L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||||||||
| 適合規格 | CE、TUVus | |||||||||||
| 標準付属品 | 吸気口用Oリング（VGのみ）、排気口用ダストキャップ、リモート制御用コネクタ、取扱説明書（CD-ROM) | |||||||||||
| 選択仕様 | ACケーブル | ACコネクタ/ACケーブル（5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| ポンプ固定用特殊ボルト | M10/M12 | |||||||||||
| ポンプ固定用特殊ボルト要否 | 要(M10) *8 | 不要 *8 | ||||||||||
| オプション品 | ガスポート用アダプタ：KF10 | |||||||||||
*1 オーダーを示す。
*2 保護ネットなしの場合の値です。
*3 UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
*4 最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。
*5 反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。
*6 結露しないこと。
*7 30SCCM吸引時。
*8 ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。
*2 保護ネットなしの場合の値です。
*3 UTM2300AとUTM3400Aは計算値です。
*4 最大吸気口圧力、最大排気口圧力の条件は同時に満たすことは出来ません。
*5 反応性ガス、腐食性ガスを流さないで下さい。その他のガスについてはお問い合わせ下さい。
*6 結露しないこと。
*7 30SCCM吸引時。
*8 ボルト強度や固定方法等は各条件があります。詳細は仕様書参照下さい。
寸法図
- 外形寸法
(mm)
| A | B | C | D | E | ||
| UTM1200A | VG150 | 235 | 439 | 218 | - | 285 |
| ISO160F | 225 | 442 | 218 | - | 285 | |
| UTM1600A | VG200 | 300 | 374 | 218 | - | 285 |
| ISO200F | 285 | 374 | 218 | - | 285 | |
| VG250 | 350 | 374 | 218 | - | 285 | |
| ISO250F | 335 | 374 | 218 | - | 285 | |
| UTM2300A | VG250 | 350 | 376 | 233 | 245 | 310 |
| ISO250F | 335 | 376 | 233 | 245 | 310 | |
| UTM3400A | VG300 | 400 | 462 | 233 | 245 | 360 |
| VG350 | 450 | 462 | 233 | 245 | 360 | |
| ISO320F | 425 | 467 | 233 | 245 | 360 | |
注)排気口、ガスパージポート、冷却水バルブ、冷却水バルブコネクタの位置や位相は機種毎に異なりますので
詳細は仕様書参照願います。
