ターボ分子ポンプ Model: VPT-060

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Model: VPT-060サポートページ

ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特長

完全ドライの排気ユニットです。
設置スペースがコンパクトです。

仕様

	50Hz	60Hz
到達圧力	10^-5 Pa
質量	17 kg
吸・排気口	ISO63(オプション:KF-40)
使用雰囲気温度範囲	8～38 ℃
最大寸法	340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS対応	●

※電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
※使用条件により、性能が低下することがあります。

寸法図

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ターボ分子ポンプ

Model: VPT-060

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ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特長

完全ドライの排気ユニットです。
設置スペースがコンパクトです。

仕様

	50Hz	60Hz
到達圧力	10^-5 Pa
質量	17 kg
吸・排気口	ISO63(オプション:KF-40)
使用雰囲気温度範囲	8～38 ℃
最大寸法	340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS対応	●

※電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
※使用条件により、性能が低下することがあります。

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