ターボ分子ポンプ

YTP シリーズ

YTPー50MB/SAB

アルバック

YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。
大気圧から高真空までの排気が可能です。
START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。
また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。

特長

  • 補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、ドライスクロールポンプを採用したドライ仕様があります。
  • 優れた停電対策
    フォアバルブに電磁弁を標準装備し、停電時の逆流・故障を防止します。
  • 粗引き状況を確認可能
    ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能です。
  • UHV領域までの排気が可能
    オプションのベーキングヒータを取り付けて脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気が可能です。(※製品仕様値として)

用途

  • 大気圧から高真空の排気系
  • 各種実験・研究用装置の排気系
  • 高純度ガスの真空置換
  • 超高真空装置の粗引き排気系
  • 分析装置の排気系

仕様

型式 YTP-50MB
YTP-50SAB
YTP-50MB-DRY
YTP-50SAB-DRY
YTP-300MB
YTP-300SAB
YTP-300MB-DRY
YTP-300SAB-DRY
TMP吸気口フランジ ICF114 ICF152
VG65 VG100
ISO63-K ISO100-K
TMP到達圧力 *1 ベーキング前 10-6Pa台 10-6Pa台
ベーキング後 10-8Pa台 10-8Pa台
TMP排気速度(L/s) *2 N2 70 280
H2 49 220
補助ポンプ排気口フランジ G3/4 NW16 G1 NW16
補助ポンプ排気速度(L/min) 50Hz 50 90 200 250
60Hz 60 100 240 300
TMP背圧・粗引圧力モニタ ピラニ真空計(2.7×103~10-1Pa)
フォアバルブ ロータリーポンプ自動ベント機構付電磁弁(L型電磁弁)
入力電圧 単相AC100V(50/60Hz)
入力ケーブル長 5m(3Pコンセント付)
電源容量(kVA) 1.2 0.9 1.7 1.6
定常時消費電力(kVA) 0.6 0.4 1.0
質量(kg) 55 57 86 85

*1:ベーキングはICFフランジ仕様のみ実施可能です。
*2:排気速度は保護ネットなし時の値です。

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