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ターボ分子ポンプ
YTPｰB
アルバック
YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。
大気圧から高真空までの排気が可能です。
START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。
また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。
大気圧から高真空までの排気が可能です。
START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。
また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。
特長
- 用途に合わせて各種シリーズを用意
補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、ドライスクロールポンプを採用したドライ仕様があります。 - 優れた停電対策
フォアバルブに電磁弁を標準装備し、停電時の逆流・故障を防止します。 - 粗引き状況を確認可能
ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能です。 - UHV領域までの排気が可能
オプションのベーキングヒータを取り付けて脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気が可能です。（※製品仕様値として）
用途
- 大気圧から高真空の排気系
- 各種実験・研究用装置の排気系
- 高純度ガスの真空置換
- 超高真空装置の粗引き排気系
- 分析装置の排気系
仕様
| 型式 | YTP- 50MB |
YTP- 50SAB |
YTP- 50MB-DRY |
YTP- 50SAB-DRY |
YTP- 300MB |
YTP- 300SAB |
YTP- 300MB-DRY |
YTP- 300SAB-DRY |
|
| TMP吸気口 フランジ |
ICF114, VG65, ISO63-K | ICF152, VG100, ISO100-K | |||||||
| TMP 到達圧力 *1 |
ベーキング前 | 10-6Pa台 | 10-6Pa台 | ||||||
| ベーキング後 | 10-8Pa台 | 10-8Pa台 | |||||||
| TMP 排気速度 *2 |
N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||||
| 補助ポンプ 排気口フランジ |
G3/4 | NW16 | G1 | NW16 | |||||
| 補助ポンプ 排気速度 |
50Hz | 50 L/min | 90 L/min | 200 L/min | 250 L/min | ||||
| 60Hz | 60 L/min | 100 L/min | 240 L/min | 300 L/min | |||||
| TMP背圧・ 粗引圧力モニタ |
ピラニ真空計（2.7×103～10-1Pa） | ||||||||
| フォアバルブ | ロータリーポンプ自動ベント機構付電磁弁（L型電磁弁） | ||||||||
| 入力電圧 | 単相AC100V（50/60Hz) | ||||||||
| 入力ケーブル長 | 5ｍ（3Pコンセント付） | ||||||||
| 電源容量 | 1.2 kVA | 0.9 kVA | 1.7 kVA | 1.6 kVA | |||||
| 定常時 消費電力（kVA） |
0.6 kVA | 0.4 kVA | 1.0 kVA | ||||||
| 質量 | 55 kg | 57 kg | 86 kg | 85 kg | |||||
*1：ベーキングはICFフランジ仕様のみ実施可能です。
*2：排気速度は保護ネットなし時の値です。
寸法図
単位：mm
| YTP-50MB YTP-50SAB |
YTP-50MB-DRY YTP-50SAB-DRY |
|
| A | 580 | 580 |
| A' | 592 | 592 |
| B | 400 | 450 |
| C | 70 | 70 |
| D | 160 | 160 |
| E1 | 430 | 430 |
| E2 | 412 | 412 |
単位：mm
| YTP-300MB YTP-300SAB |
YTP-300MB-DRY YTP-300SAB-DRY |
|
| A | 650 | 650 |
| A' | 665 | 665 |
| B | 450 | 500 |
| B' | 492 | 542 |
| C | 100 | 100 |
| D | 100 | 100 |
| E1 | 440 | 440 |
| E2 | 428 | 428 |
