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校正リーク
CLC
アルバック
微細な穴にヘリウムガスを導入する事により一定の漏れ量が得られる校正リークです。
校正手法には、真空法校正とスニッファー法校正の2種類を用意しています。
校正手法には、真空法校正とスニッファー法校正の2種類を用意しています。
仕様
| 型式 | リーク量 | 校正方法 | 使用圧力 | ジョイント |
| CLC-04A | 10-4Pa･m3/s台 | 真空法校正 または スニッファー法校正 |
⊿P = 0.1MPa(差圧0.1MPa) | Φ18mmパイプ(Rc1/4付) |
| CLC-05A | 10-5Pa･m3/s台 | |||
| CLC-06A | 10-6Pa･m3/s台 |
寸法図
