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校正リーク Model: CLM

アルバック

Model: CLMの導入・購入・検討について

ガラス(透過材)をヘリウムガスが透過することを利用した校正リークです。(真空法校正)
CLM校正リークは、JCSS校正の対応が可能です。詳細はアルバックテクノ株式会社のコチラのページをご参照ください。

仕様

型式 リーク量 封入圧力 ジョイント
CLM-07AY 10-7Pa・m3/s台 261kPa(abs) Φ18mmパイプ(手動バルブ付き)
CLM-08A 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs)
CLM-09AZ 10-9Pa・m3/s台 261kPa(abs)
CLM-10A 10-10Pa・m3/s台 101kPa(abs)

HELIOT内蔵用 校正リーク

型式 リーク量 封入圧力 対象機種
CLM-08E 10ー8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT710,700,300series
CLM-08F 10-8Pa・m3/s台 251kPa(abs) HELIOT900series

寸法図

CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-08ACLM-09AZCLM-10A.png

CLM-07AY

CLM-07AY.png

CLM-08F

CLM-08F.png

CLM-08E

CLM-08E.png

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