校正リーク CLM
アルバック
カタログを印刷・
保存する
保存する
CLMの導入・購入・検討について
ガラス(透過材)をヘリウムガスが透過することを利用した校正リークです。(真空法校正)
仕様
| 型式 | リーク量 | 封入圧力 | ジョイント |
| CLM-07AY | 10-7Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | Φ18mmパイプ(手動バルブ付き) |
| CLM-08A | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | |
| CLM-09AZ | 10-9Pa･m3/s台 | 261kPa(abs) | |
| CLM-10A | 10-10Pa･m3/s台 | 101kPa(abs) |
HELIOT内蔵用 校正リーク
| 型式 | リーク量 | 封入圧力 | 対象機種 |
| CLM-08E | 10ｰ8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT710,700,300series |
| CLM-08F | 10-8Pa･m3/s台 | 251kPa(abs) | HELIOT900series |
寸法図
CLM-08A, CLM-09AZ, CLM-10A
CLM-07AY
CLM-08F
CLM-08E
