MF電源
デュアルカソードのスパッタに用いるためのMF電源です。金属膜だけではなく反応性の成膜でも威力を発揮します。アノードが消失することなく安定したスパッタリングを実現します。
最大定格電力
定格電圧
デュアルカソードのスパッタに用いるためのMF電源です。金属膜だけではなく反応性の成膜でも威力を発揮します。アノードが消失することなく安定したスパッタリングを実現します。
最大定格電力
定格電圧
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