パルス及び直流電源システム

DCシリーズは、特に金属膜のスパッタリングプロセスに最適な直流電源（DC電源）です。信頼性の高い部品と回路を採用し、長年にわたって培ったアプリケーション経験とノウハウを設計に反映した、プラズマ負荷に最適化された電源です。
このシリーズの大きな特徴は、プラズマ負荷特有のインピーダンス変動に対応する異常放電処理（アークハンドリング）機能を搭載している点です。この機能により、安定した成膜プロセスを実現し、高い信頼性とパフォーマンスを提供します。

Digital DCシリーズの最大の特徴は、制御部分をデジタル化することで基本性能を大幅に向上させるとともに、豊富なオプションや新機能の追加をソフトウェアで柔軟に実現できる点です。この進化により、高機能を必要としないお客様から、特定の課題を解決するために高度な機能を求めるお客様まで、幅広いニーズに対応可能です。
私たちは、この多彩なオプション機能が、お客様のプロセス改善に大きく貢献することを心より願っています。Digital DCシリーズは、革新的な技術と柔軟性を備えた新しい選択肢を提供します。

DC PULSEシリーズは、金属膜や反応性スパッタリングプロセスに最適なDCパルス電源です。本シリーズは、設定した周期で出力電圧を反転させることで、ターゲット表面の電荷蓄積（チャージアップ）を打ち消し、異常放電の抑制を実現します。その結果、歩留まりやスループットの向上に貢献します。
さらに、連続したパルス出力モードに加え、直流電源（DC電源）としても使用可能なモードを搭載しており、プロセスの要件に応じて最適な使用方法を選択できます。高い柔軟性と性能を兼ね備えたDC PULSEシリーズで、成膜プロセスの効率を最大限に引き出します。

LF電源は、デュアルカソード構造での金属膜や反応性スパッタリングプロセスに最適化されたLF電源です。従来、正弦波出力を採用することで必要だった電圧範囲の変更時におけるタップ切り替えが不要となり、操作性が大幅に向上しました。さらに、出力周波数の調整が可能で、プロセスに最適な条件でご使用いただけます。
また、長年にわたる電源アプリケーションの経験とノウハウを設計に反映し、プラズマ負荷に適応した高い信頼性を実現しています。SG-10は、安定性と柔軟性を兼ね備えた電源として、さまざまな成膜プロセスを力強くサポートします。

A2Kシリーズは、DC出力をパルス出力に変換する外付けユニットです。このシリーズは、DC電源に接続することでターゲット上の電荷を中和し、異常放電を防止するために設計されています。DC電源と組み合わせることで、大電力DCパルス電源システムとしてご利用いただけます。
また、異常放電の抑制や高性能な異常放電処理（アークハンドリング）を実現するパルスユニットとして、さまざまなプロセスにおいて安定した運用を可能にします。A2Kシリーズは、効率的かつ信頼性の高い成膜プロセスをサポートします。

MFUは、DC出力をバイポーラパルス出力に変換する外付けユニットです。DC電源と組み合わせることで、大電力バイポーラパルス電源システムとして活用でき、デュアルカソードを使用したスパッタリングプロセスにも対応可能となります。これにより、プロセスの幅を大きく広げることができます。
MFUは、金属膜だけでなく、反応性成膜プロセスにおいてもその威力を発揮します。また、アノードの消失を防ぎながら安定したスパッタリングを実現し、高品質な成膜を可能にします。