パルス及び直流電源システム
パイポーラユニット_MFU
パルス及び直流電源システム
パイポーラユニット_MFUの導入・購入・検討について
MFUは、DC出力をバイポーラパルス出力に変換する外付けユニットです。DC電源と組み合わせることで、大電力バイポーラパルス電源システムとして活用でき、デュアルカソードを使用したスパッタリングプロセスにも対応可能となります。これにより、プロセスの幅を大きく広げることができます。
MFUは、金属膜だけでなく、反応性成膜プロセスにおいてもその威力を発揮します。また、アノードの消失を防ぎながら安定したスパッタリングを実現し、高品質な成膜を可能にします。
パイポーラユニット_MFU
Model:MFU-20K
DC電源の外付けユニットとしてラインナップしているMFUはデュアルカソードのスパッタに用いるためのバイポーラユニットです。
金属膜だけではなく反応性の成膜でも威力を発揮します。アノードが消失することなく安定したスパッタリングを実現します。