パルス及び直流電源システム
直流電源_DCシリーズ
パルス及び直流電源システム
直流電源_DCシリーズの導入・購入・検討について
DCシリーズは、特に金属膜のスパッタリングプロセスに最適な直流電源（DC電源）です。信頼性の高い部品と回路を採用し、長年にわたって培ったアプリケーション経験とノウハウを設計に反映した、プラズマ負荷に最適化された電源です。
このシリーズの大きな特徴は、プラズマ負荷特有のインピーダンス変動に対応する異常放電処理（アークハンドリング）機能を搭載している点です。この機能により、安定した成膜プロセスを実現し、高い信頼性とパフォーマンスを提供します。
直流電源_DCシリーズ
Model:DC
"Model:DC"は、スパッタリング用直流電源（DC電源）です。信頼性のある部品と回路で構成しております。
長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。