信頼性と高性能アーク処理機能を併せ持つDC電源
パルス及び直流電源システム
直流電源_Model:DC
Model: DC
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Model: DCの導入・購入・検討について
"Model:DC"は、スパッタリング用直流電源（DC電源）です。信頼性のある部品と回路で構成しております。
長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
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DCS0052B
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DC-2/DC-4
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DC-10/DC-20
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DC-30-44H
特長
- 軽量・省スペース設計
- 出力電圧範囲800V仕様と1000V仕様をラインアップ（10/20kW製品のみ）
- プラズマを熟知した出力制御
- 強制空冷方式のため冷却水が不要
- 優れたARC機能と高速ARC処理回路を搭載
- 最大12台（240kW）まで並列運転が可能（10/20kW製品のみ）
- CE、SEMI F47、RoHSに対応（DCS及び400V仕様を除く）
仕様
| Model | DCS0052B | DC-2 | DC-4 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 単相 AC100V/200V | 3相 AC200V/220V | |
| 入力容量 | 1kVA以下 | 3.5kVA以下 | 6.2kVA以下 | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 500W | 2kW | 4kW |
| 定格電流 | 1.25A | 5A | 10A | |
| 定格電圧 | 800V | |||
| イグニッション電圧 | 1100V程度 | 1200V | ||
| 制御 | 制御精度 | 定格電力の±1%以下 | 設定値の±1%以下 | |
| 制御保証範囲 | 定格電力値の10-100% | 定格電力値の1-100% | ||
| 外部制御 | Analog/Digital | Analog/Digital、SERIAL制御 （RS232C、またはRS485） | ||
| 並列運転 | 無 | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 240×450×99（mm） | 241×610×133（mm） | ||
| 質量 | 約9kg | 15kg | ||
| 適合規格 | 無 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | ||
| Model | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | DC-30-44H | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC208V | 3相 AC380V-400V | 3相 AC208V | 3相 AC380V-400V | 3相 AC440V | ||
| 入力容量 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | 41.5kVA以下 | |||||
| 出力仕様 | 定格電力 | 10kW | 20kW | 30kW | ||||
| 定格電流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | 55A | |
| 定格電圧 | 800V | 1000V | 800V | 800V | 1000V | 800V | 1200V | |
| イグニッション電圧 | 1500V | |||||||
| 制御 | 制御精度 | 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう | ||||||
| 制御保証範囲 | 定格電力値の10-100% | |||||||
| 外部制御 | Analog/Digital、SERIAL制御 （RS232C、またはRS485） | SERIAL制御 （RS232C、またはRS485）/EtherCAT | ||||||
| 並列運転 | 有 | |||||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||||||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 483×630×133（mm） | 483×650×177（mm） | ||||||
| 質量 | 29kg | 36kg | 45kg | |||||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | RoHS（欧州） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | RoHS（欧州） | CE、SEMI F47、RoHS（欧州） | |||
