プロセスの最適化を実現し、新機能を搭載することで進化し続ける高性能DC電源。
パルス及び直流電源システム
直流電源_Model:Digital DC
Model: Digital DC
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Model: Digital DCの導入・購入・検討について
"Model:Digital DC"は、スパッタリング用直流電源（DC電源）です。
信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
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DC-2-D/DC-4-D
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DC-10-D/DC-20-D
特長
- 豊富な高機能オプション
- 軽量・省スペース設計
- 出力電圧範囲は800V仕様とHV仕様をラインナップ（10/20kw：1000V / 2/4kw：900V）
- プラズマを熟知した出力制御
- 強制空冷方式のため冷却水が不要
- 優れたARC機能と高速ARC処理回路を搭載
- 最大12台（240kW）まで並列運転が可能（10/20kW製品のみ）
- CE、KC、SEMI F47、RoHSに対応
仕様
| Model | DC-2-D | DC-4-D | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC200V/220V | |
| 入力容量 | 3.5kVA以下 | 6.2kVA以下 | |
| 出力仕様 | 定格電力 | 2kW | 4kW |
| 定格電流 | 5A | 10A | |
| 定格電圧 | 800V/900V* | ||
| イグニッション電圧 | 1200V | ||
| 制御 | 制御精度 | 設定値の±1% | |
| 制御保証範囲 | 定格電力値の1-100% | ||
| 外部制御 | Analog/Digital、シリアル通信（RS232CまたはRS485）、 EtherCAT（オプション） |
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| 並列運転 | 無 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 241×610×133（mm） | ||
| 質量 | 15kg | ||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | ||
*通常は800V仕様、900V仕様はオプションとなります。
| Model | DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | ３相AC208V | |||
| 入力容量 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | |||
| 出力仕様 | 定格電力 | 10kW | 20kW | ||
| 定格電流 | 25A | 18A | 50A | 40A | |
| 定格電圧 | 800V | 1000V | 800V | 1000V | |
| イグニッション電圧 | 1500V | ||||
| 制御 | 制御精度 | 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう 別途、高精度オプションもあり |
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| 制御保証範囲 | 定電力制御 定格電力値の10-100% 別途、高精度オプションもあり |
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| 外部制御 | Analog/Digital、シリアル通信（RS232CまたはRS485）、EtherCAT（オプション） | ||||
| 並列運転 | 有 | ||||
| 冷却方式 | 強制空冷 | ||||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 483×630×133（mm） | ||||
| 質量 | 29kg | 36kg | |||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | ||||
