パルス及び直流電源システム
DCパルス電源_DC PULSEシリーズ
パルス及び直流電源システム
DCパルス電源_DC PULSEシリーズの導入・購入・検討について
DC PULSEシリーズは、金属膜や反応性スパッタリングプロセスに最適なDCパルス電源です。本シリーズは、設定した周期で出力電圧を反転させることで、ターゲット表面の電荷蓄積（チャージアップ）を打ち消し、異常放電の抑制を実現します。その結果、歩留まりやスループットの向上に貢献します。
さらに、連続したパルス出力モードに加え、直流電源（DC電源）としても使用可能なモードを搭載しており、プロセスの要件に応じて最適な使用方法を選択できます。高い柔軟性と性能を兼ね備えたDC PULSEシリーズで、成膜プロセスの効率を最大限に引き出します。
DCパルス電源_DC PULSEシリーズ
Model:DC PULSE
"Model:DC PULSE"は、反応性プロセスで発生する異常放電を抑制するのに有効なパルス電源です。
この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積（チャージアップ）を打ち消すことで、異常放電を抑制し、歩留り・スループットの向上を実現します。