パルス及び直流電源システム
LF電源_SG
パルス及び直流電源システム
LF電源_SGの導入・購入・検討について
LF電源は、デュアルカソード構造での金属膜や反応性スパッタリングプロセスに最適化されたLF電源です。従来、正弦波出力を採用することで必要だった電圧範囲の変更時におけるタップ切り替えが不要となり、操作性が大幅に向上しました。さらに、出力周波数の調整が可能で、プロセスに最適な条件でご使用いただけます。
また、長年にわたる電源アプリケーションの経験とノウハウを設計に反映し、プラズマ負荷に適応した高い信頼性を実現しています。SG-10は、安定性と柔軟性を兼ね備えた電源として、さまざまな成膜プロセスを力強くサポートします。
LF電源_SG
Model:SG-10
LF電源は、デュアルカソードスパッタリング、プラズマ CVD などのプラズマ発⽣⽤に設計されたものです。
プラズマ負荷に対し 20kHz〜100kHz の周波数において定格出⼒を連続で出⼒することができます。
⻑年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。