信頼性と安定性を両立したデュアルカソード対応のLF電源
パルス及び直流電源システム
LF電源_SG
Model:SG-10
アルバック
カタログを印刷・
保存する
保存する
Model:SG-10の導入・購入・検討について
LF電源は、デュアルカソードスパッタリング、プラズマ CVD などのプラズマ発⽣⽤に設計されたものです。
プラズマ負荷に対し 20kHz〜100kHz の周波数において定格出⼒を連続で出⼒することができます。
⻑年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
プラズマ負荷に対し 20kHz〜100kHz の周波数において定格出⼒を連続で出⼒することができます。
⻑年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
特長
- 発振周波数を20kHz〜100kHzまで設定し出力可能 *1
- タップ変更なしで、仕様上の出⼒電圧範囲に対して出⼒する事が可能
- パルス出⼒制御が可能
- 外部アナログ制御、コントローラー等による制御を標準搭載し、OPTION でRS232C,RS485,EtherCAT 等、様々な制御が可能
- *1：周波数設定条件により、出⼒電圧/電流の制限があります。
仕様
| Model | SG-10-4 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 3相 AC380-440V |
| 入力容量 | 13.2kVA以下 | |
| 出力仕様 | 最大定格電力 | 10kW |
| 定格電流 | 32A | |
| 定格電圧 | 1000Vrms | |
| 発振周波数 | 20k-100kHz | |
| 制御 | 制御精度 | ±100W |
| 制御保証範囲 | 定格電力値の10-100%（電圧30V以上、電流1.5A以上） | |
| 外部制御 | Analog/Digital、シリアル通信（RS232CまたはRS485）（オプション）、EtherCAT（オプション） | |
| 冷却方式 | 水冷 7L/min以上 | |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 483×500×177（mm） | |
| 質量 | 40kg | |
| 適合規格 | CE、SEMI F47、RoHS（欧州） | |
