より良い成膜プロセスを実現するために後付け可能なパルスユニット
パルス及び直流電源システム
パルスユニット_A2Kシリーズ
Model:A2K
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Model:A2Kの導入・購入・検討について
DC電源の外付けユニットとしてラインナップしている"Model:A2K"はDC出力をパルス出力に変換しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。
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A2KH-25U
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A2K-40K
特長
- 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能
- アーク起因の基板ダメージを低減可能
- 既存の装置にも接続が可能 *1
- A2KH-25U：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHzの範囲で出力可能
- 複数台のA2Kの出力パルス同期が可能 *2 *3
- 最大6台までの並列運転可能（同一機種の組合せのみ/20K/40Kのみ）
応用：パルス同期システム
同一チャンバー内でカソードが近接しており、カソードが対向、もしくは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、位相制御機能をご使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、放電の干渉を抑制させることが可能です。 *3 *4
*1：弊社DC電源との接続が可能
*2：A2KH-25U、A2K-20K、40Kの混在使用によるパルス同期および並列運転はできません
*3：A2KH-25Uは外部同期ユニット（PHSM/PHSS）が必要
*4：A2K-20K/40Kは光同期ケーブル（Pulse link cable）が必要
仕様
| Model | A2KH-25U | A2K-20K | A2K-40K | |
| 制御電源入力 | 入力電圧 | 単相 AC90-110V | 単相 AC100-240V | |
| 入力容量 | 100VA以下 | 400VA以下 | ||
| 入力仕様 | 発振可能電圧範囲 | -100～-800V | ||
| 最大入力電流 | 25A | 50A | 100A | |
| 最大入力電力 | 15kW | 20kW | 40kW | |
| 出力仕様 | 発振周波数 | 1k～20kHz | 1k～50kHz | |
| 逆パルス幅 | 5μs/10μs 内部スイッチで切替 | 3u～18μs | ||
| 発振モード | 連続モード/ワンパルスモード/パスモード | |||
| 出力方式 | Single Target用 | |||
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 238×450×149（mm） | 480×630×177（mm） | ||
| 質量 | 16kg | 30kg | 45kg | |
| 適合規格 | RoHS（欧州） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧州） | ||
