高周波電源システム
高周波電源システムの導入・購入・検討について
アルバックでは、以下の高周波電源を取り揃えています。
・整合器内蔵型高周波電源：RMG
・汎用性の高い高周波電源システム（RF電源システム）：Nシリーズ
・豊富な高周波電源のためのオプション：MEX-Nシリーズ/EXNシリーズ/PHS-Nシリーズ/EXO
また、電源を搭載する真空装置において最も重要な信頼性については、開発・設計段階から評価・製造まで一貫して力を注いで取り組んでいます。
高周波電源では、出力された電力の一部または全部が負荷で消費されずに電源側へ戻る「反射」という現象が発生する場合があります。負荷に効率よく電力を供給するためには、高周波電源特有の整合器（マッチングボックス）と呼ばれるインピーダンス変換ユニットが必要となります。このユニットによって、電力供給の効率が最適化されます。
アルバックの高周波電源システムは、多様なアプリケーションで培った豊富な経験とノウハウを活かし、高品質な成膜プロセスを実現します。ぜひ、この優れた電源システムをご活用ください。
整合器内蔵_高周波電源_RMG
整合器内蔵_高周波電源_RMG
RMG-1303
RMG-1303はRFスパッタリング、プラズマCVD、エッチング等のプラズマプロセス用の13.56MHz,300W出力の整合器内蔵型RF電源です。
整合器とRF電源を一体化したことで小型･軽量化を実現しています。
低出力から制御が可能となっており、研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用いただくことができます。
高周波電源_Nシリーズ
高周波電源_Nシリーズ
Nシリーズ
RFS-Nシリーズは13.56MHz,0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。 高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、RF電源本体のユニットのみでRF電源の電力制御とマッチングシステム制御が可能です。
高周波電源_オプション
高周波電源_オプション
EXNシリーズ
EXNシリーズはターゲット切替器であり、複数のDCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて1つの電極へ供給する事ができます。
高周波電源_オプション
PHS-Nシリーズ
本システムは、RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源の位相調整を行う目的で設計されたものです。
本システムは13.56MHz にて動作する複数台のRF電源に対し、それぞれの電源の出力の位相を任意に変化させる事が可能です。
高周波電源_オプション
EXO-13
本ユニットは、高周波電源用の外部発振源として設計されたものです。13.56MHz単一周波数において定格信号を出力することができます。
また本ユニットは、1～4つのBNC出力ポートを備えており、4台までの電源について同位相の高周波発振を行うことができます。
※ 接続電源の外部入力端子は50Ωに終端され、10mW以上100mW以下で動作できる必要があります。