高周波電源システム
高周波電源_オプション

RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源のマッチングボックス用の切替機です。

"Model:EXN"はターゲット切替器であり、複数のDCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて1つの電極へ供給する事ができます。

本システムは、RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源の位相調整を行う目的で設計されたものです。
本システムは13.56MHz にて動作する複数台のRF電源に対し、それぞれの電源の出力の位相を任意に変化させる事が可能です。

本ユニットは、高周波電源用の外部発振源として設計されたものです。13.56MHz単一周波数において定格信号を出力することができます。
また本ユニットは、1～4つのBNC出力ポートを備えており、4台までの電源について同位相の高周波発振を行うことができます。
※ 接続電源の外部入力端子は50Ωに終端され、10mW以上100mW以下で動作できる必要があります。