様々な電源の切り替えに利用可能な切替機
高周波電源システム
高周波電源_オプション
Model:EXN
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Model:EXNの導入・購入・検討について
"Model:EXN"はターゲット切替器であり、複数のDCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて1つの電極へ供給する事ができます。
特長
- マッチングボックスの出力を切り替えることが可能です。
- カソード別にマッチングボックスを設置する必要が無いため、装置コストダウンに大きく貢献します。
- 切替方式は手動とモーター駆動の2種類を用意しています。また、より大電力対応の水冷方式も準備しました。
- DC電源、DCパルス電源出力の切替機としても使用可能です。
- マッチングボックスは1台となるため、整合範囲を超える負荷同士は使用することができません。
仕様
| 仕様 | 空冷ターゲット切替器 仕様 | |||||
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
| 切替接点数 | 2点 | 3点 | 4点 | 2点 | 3点 | 4点 |
| 使用周波数 | DC-13.56MHz | |||||
| 定格通電電流 | 40A | |||||
| 切替方式 | 手動式 | 電動式 | ||||
| 冷却方式 | 自然空冷 | |||||
| 仕様 | 水冷ターゲット切替器 仕様 | |||||
| EXN2T-70W | EXN3T-70W | EXN4T-70W | EXN2M-70W | EXN3M-70W | EXN4M-70W | |
| 切替接点数 | 2点 | 3点 | 4点 | 2点 | 3点 | 4点 |
| 使用周波数 | DC-13.56MHz | |||||
| 定格通電電流 | 70A | |||||
| 切替方式 | 手動式 | 電動式 | ||||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
