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高周波電源システム
高周波電源_オプション
EXO-13
アルバック
本ユニットは、高周波電源用の外部発振源として設計されたものです。13.56MHz単一周波数において定格信号を出力することができます。
また本ユニットは、1～4つのBNC出力ポートを備えており、4台までの電源について同位相の高周波発振を行うことができます。
※ 接続電源の外部入力端子は50Ωに終端され、10mW以上100mW以下で動作できる必要があります。
特長
- 最大4台のRF電源の位相を同期させることが可能です。
- 位相シフト機能を排除することによりローコストを実現しました。
仕様
| 型式 | EXO-13 | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 単相AC100V |
| 入力容量 | 1VA以下 | |
| 出力仕様 | 発振周波数 | 13.56MHz±0.05% |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 145×110×44 （mm） | |
