高周波電源の出力をあらゆる負荷の切り替えに利用可能整合器切り替えユニット
高周波電源システム
高周波電源_オプション
Model: MEX-N
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Model: MEX-Nの導入・購入・検討について
RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源のマッチングボックス用の切替機です。
特長
- 複数のマッチングボックスを切り替えることが可能です。
- 同時放電しない場合に使用可能で、装置に搭載する電源の数を削減することで装置のコストダウンに貢献します。
- 1つのカソードに1つのマッチングボックスを使用するので、インピーダンスの異なる様々なカソードを選択することが可能です。
仕様
| 容量帯 | マッチングボックス切替台数 | ||||||
| ２台 | ３台 | ４台 | ５台 | ６台 | ７台 | ８台 | |
| 500, 1kW | MEX-2N-1k | MEX-3N-1k | MEX-4N-1k | MEX-5N-1k | MEX-6N-1k | MEX-7N-1k | MEX-8N-1k |
| 3kW | MEX-2N-3k | MEX-3N-3k | MEX-4N-3k | MEX-5N-3k | MEX-6N-3k | MEX-7N-3k | MEX-8N-3k |
| 5kW | MEX-2N-5k | MEX-3N-5k | MEX-4N-5k | - | - | - | - |
