放電干渉問題解決や電極間の電圧を同等に調整可能な位相シフトユニット
高周波電源システム
高周波電源_オプション
Model:PHS-N
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Model:PHS-Nの導入・購入・検討について
本システムは、RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源の位相調整を行う目的で設計されたものです。
本システムは13.56MHz にて動作する複数台のRF電源に対し、それぞれの電源の出力の位相を任意に変化させる事が可能です。
特長
- 複数台のRF電源の位相を制御することが可能です。
- 位相シフト機能により、カソード間で生じる差異を調整し、バラツキの少ない安定したプロセスを提供します。
仕様
| Model | PHS-04N | PHS-08N | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 単相AC100V-240V | |
| 入力容量 | 70VA以下 | ||
| 出力仕様 | 出力チャンネル数 | 4 | 8 |
| 発振周波数 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 位相設定範囲 | 0°～359.9° | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 480×192×49（mm） | ||
