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ベーシックプロセス
Qulee BGM2シリーズ
BGM2-101 / 102
アルバック
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。真空蒸着装置や各種真空炉の装置管理に最適です。
特長
- コストパフォーマンス抜群の汎用仕様
- 測定質量数範囲 1～100 amu
- 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
- 簡単操作：One Click 機能・・・だれにでも簡単。複雑な操作は不要
- リークテスト機能の充実
- 全圧測定が可能
- Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
- CE標準対応
用途
- 真空蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置の残留ガス分析
- 高真空排気装置の残留ガス分析
- 凍結乾燥装置の残留ガス分析
- 研究開発向け各種ガス分析
仕様
分解能M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管 ファラデーカップ |
||
| 感度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| 最大使用圧力 | 1x10-2Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| One Click機能 | あり/He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click リークチェック機能 |
あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | |||
| 最大ベーキング 可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows8/10/11対応） | |||
| 適合規格 | CE | |||
該非判定結果報告書
ダウンロード
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オプションパーツ・消耗品
Qulee共通 オプション
| ACアダプタ | AC100-240V用電源 | Qulee本体用/スイッチングハブ用 | |
| 電源ケーブル | QPC-KR | 韓国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-CN | 中国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-DE | ドイツ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-US | アメリカ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| スイッチングハブ | FL Switch 1008N(8 port) | DC24V | チャンネル数:8、W23✕D93✕H141mm |
| USB-有線LANアダプタ | LUA4-U3-AGTE | USBー有線LAN変換機 | 仕様：USB3.0対応 |
| LANケーブル | QLC-030 | 3m、Qulee本体には標準付属 | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-050 | 5m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-100 | 10m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-0150 | 15m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-200 | 20m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-300 | 30m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-500 | 50m | 単線／2重シールド仕様 |
| I型配管 | C70-NW16 | ICF070-NW16/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW25 | ICF070-NW25/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW40 | ICF070-NW40/配管長:49mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
BGM / BGM2 専用 オプション
| ジャケットヒータ | BGM-JH01 | BGM(2)ｰ102/202用、電源電圧：AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時)：110℃±20℃ |
BGM / BGM2 専用 消耗品
| 分析管 | BGM-AN101/201 | BGM(2)-101/201用 |
| 分析管 | BGM-AN102/202 | BGM(2)-102/202用 |
| イオンソース | BGM-IS01 | BGM(2)/REGA共用 |
| 2次電子増倍管 | BGM-EM01 | BGM-AN102/102用 |
