ガス分析計用ソフトウェア

ガス分析計用ソフトウェア

Qulee QCS Ver.4.0

アルバック

" Qulee QCS " は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。
当ソフトウェアは、ULVAC製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。

特長

  • Quleeの標準ソフトウェア(Windows 7/8/10対応)

Qulee QCS Ver.4.0

  • 簡単操作

充実したショートカットボタンによる簡単操作

  • 測定モードの充実

スキャンモード、トレンドモード、アナログモード、感度校正モードなど

  • リークテスト機能の充実

ヘリウムリークテストモードにより簡単にリークチェックが可能

  • ガス組成名表示が可能

スキャン/トレンドモードにてガス組成名表示が可能

  • レシピ設定

レシピ設定による測定条件管理機能

  • 16ユニット接続可能

Ethernet対応による最大16台の同時制御が可能

  • 各種処理機能の充実

Data結合機能

バックグラウンド処理機能

測定領域の積分処理機能

イオンソース、二次電子倍増管の予防保全管理機能

分析管のトレサビリティ管理機能(特許第5016031号)

アナログデータを2点同時記録

分圧セットポイント出力2点設定(トレンドモード測定において)

Password lock機能

  • CSV形式によるデータ書き出し機能

表計算ソフトで読み出し可能なデータフォーマット(CSV形式)での書き出しが可能

仕様

型式 Qulee QCS Ver. 4.0
OS Microsoft? Windows 7/8/10(32bit,64bit)
インターフェース Ethernet
接続センサ数 最大16ユニット(Ethernet)
対応機種 Qulee BGM2/Qulee CGM2/Qulee HGM2/Qulee RGM2
レシピ保存数 100(ユーザーエリア 70点)
測定速度 50,100,200,500,1000,2000 msec/mass
測定間隔 自動、0.5 ~ 1000sec(トレンドモード)、1 ~ 1000sec(スキャンモード)
測定時間 連続、任意設定
測定モード

スキャンモード:  任意の質量数範囲の質量スペクトルの測定

トレンドモード:  分圧の時間変化を最大20ch計測可能

リークテストモード:ヘリウムリークテストがワンタッチで可能

アナログモード:  質量数校正用のアナログ波形表示

感度校正モード:  SEM検出器の感度校正

DEGASモード: イオン源のDEGAS制御(RGMのぞく)

ガス組成名表示 スキャン・トレンドモードにてガス組成名表示可能
機能 バックグラウンド処理機能/積分処理機能/Data結合機能/Password lock機能
アナログ入力 0 ~ 10V(2点)
分圧セットポイント 2chの分圧セットポイント[異常、警告]の設定(トレンド測定モードのみ)
イオン化電圧設定 固定(HGM2 25 ~ 70eV/RGM2 20 ~ 70eV)
状態監視

エラー検出(通信異常、FIL断線、RF異常、SEM異常、インターロック作動)

FIL,SEMの仕様積算時間表示

グラフ表示

縦 軸:リニア/LOGの切替、表示範囲選択[電流値(A)、分圧値(Pa)、濃度(ppm)]

横 軸:質量数、時間の変更およびスクロール、保存データの表示(測定中の表示も可能)

   棒グラフ、折れ線グラフの同時表示設定が可能

データ保存 自動保存又は測定終了後保存選択により保存
ファイル名は測定開始時に年月日時間を表示
任意のファイル名、保存場所の設定も可能
CSV形式での保存可能(過去の既取得データに対して)
印刷 スキャン・トレンド・アナログモードの表示グラフの印刷
印刷画面範囲の設定/データ色の設定、トレンドグラフ線径の設定
オプション

上位通信:  トレンドモードの測定データをホストコンピューターからの要求により、RS232C通信を介して送信することができます。

アナログ出力:トレンドモード測定中に、指定した質量数のデータを、測定間隔毎にアナログ出力します。

PC要求仕様

Ethernetポート、CPU:Corei5以上(8ユニット以上接続時はCorei7以上推奨)、

CD-ROMドライブ、HDD:8MB(測定データ除く)、RAM:4GB以上、

表示機種:1280×1024以上

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