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ハイパフォーマンスプロセス
Qulee HGM2シリーズ
HGM2-302
アルバック
革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVAC の新型残留ガス分析計Qulee シリーズ（Ethernet 通信対応）のハイエンドモデル機"Qulee HGM2"です。 2.5 × 10 -6A/Pa（ファラデーカップ）という高感度を実現、各種研究開発用途から真空装置のプロセス管理まであらゆるニーズに対応いたします。
特長
- 測定質量数範囲 1～300 amu
- 各種研究開発用途に最適
ハイエンド機能としての最高感度を実現 2.5×10-6A/Pa - 通信インターフェース
Ethernet通信に対応 - 表示部一体型の設計
PCレスでも測定可能 - 簡単操作:One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
- ベーキング対応
センサユニット接続時で最大250℃の高温ベーキングが可能（センサユニット分離状態：300℃） - デガス機能搭載
電子衝撃脱離方式の採用 - メンテナンス
フィラメント、イオンソース、二次電子増倍管の交換が簡単 - 予防保全機能の充実
イオンソース、二次電子増倍管の予防保全
分析管のトレサビリティ機能の搭載（特許第5016031号） - リークテスト機能の充実
ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能 - 全圧測定
全圧測定が可能（電離真空計機能） - Qulee QCS 対応
ソフトウェアが標準搭載（Windows 8/10/11対応） - 適合規格
CE標準対応
用途
- 昇温脱離ガス分析など各種研究開発
- 極高・超高真空排気装置等の残留ガス分析
- ガス中の微量不純物の測定
- 太陽電池関連の研究開発
- 有機分析
- 環境測定
仕様
| 型式 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| 分解能 | M/ ΔM=1M (10% P.H.) | |||
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 | ファラデーカップ | 二次電子倍増管 |
| 感度 | 2.5×10-6A/Pa @1.0mA |
4 A/Pa | 2.0×10-6A/Pa @1.0mA |
4 A/Pa |
| 最小検知分圧 | 10-9Pa台 | 10-13Pa台 | 10-9Pa台 | 10-13Pa台 |
| 最大仕様圧力 | 1×10-2Pa | |||
| フィラメント | lr / Y2O3 2本 | |||
| イオン化電圧 | 25 ~ 70 eV (デフォルト:70eV) | |||
| エミッション電流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA (デフォルトは0.5mA) | |||
| DEGAS | 電子衝撃脱離方式 330V, 5mA | |||
| 全圧測定機能 | あり／ 10-2 ~ 10-5Pa | |||
| One Click機能 | あり／ He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり | |||
| 電源電圧 | DC24V±10% 50W | |||
| 質量 (センサユニット/分析管) |
2.4kg / 0.81kg | |||
| 最大ベーキング温度 (センサユニット接続時) |
250℃ | |||
| 最大ベーキング温度 (センサユニット脱着時) |
300℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10 ~ 40℃ | |||
| 使用湿度範囲 | 15 ~ 80% (ただし結露無きこと) | |||
| IP保護等級 | IP30 (センサユニット) | |||
| 電源コネクタ | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
| 通信インターフェース | Ethernet仕様 | |||
| 外部入出力コネクタ | D-sub15ピン／M2.6ネジ(オプション) | |||
| 通信コネクタ | RJ45 | |||
| 外部入出力信号 | アナログ入力 (0-10V)×2、外部インターロック入力 (圧力保護)×1、エラー出力×1 (FIL、SEM、RF異常時)、分圧セットポイント出力×2 (異常、警告)、全圧セットポイント出力×1 | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |||
| 標準付属品 | 電源コネクタ、LANケーブル(3m)、ソフトウェア(インストールCD)、取扱説明書(CD) | |||
| オプション (Quleeオプションカタログ参照) | LANケーブル (10,15,20,30,50m)、ACアダプタ、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ (8ポート又は16ポート)、入出力コネクタ、ジャケットヒータ、キャリーケース | |||
| 適合規格 | CE | |||
※AC電源でご使用される場合は、必ずACアダプタをご準備ください(Quleeオプションカタログ参照)
該非判定結果報告書
ダウンロード
SDSダウンロード
オプションパーツ・消耗品
Qulee共通 オプション
| ACアダプタ | AC100-240V用電源 | Qulee本体用/スイッチングハブ用 | |
| 電源ケーブル | QPC-KR | 韓国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-CN | 中国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-DE | ドイツ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-US | アメリカ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| スイッチングハブ | FL Switch 1008N(8 port) | DC24V | チャンネル数:8、W23✕D93✕H141mm |
| USB-有線LANアダプタ | LUA4-U3-AGTE | USBー有線LAN変換機 | 仕様：USB3.0対応 |
| LANケーブル | QLC-030 | 3m、Qulee本体には標準付属 | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-050 | 5m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-100 | 10m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-0150 | 15m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-200 | 20m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-300 | 30m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-500 | 50m | 単線／2重シールド仕様 |
| I型配管 | C70-NW16 | ICF070-NW16/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW25 | ICF070-NW25/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW40 | ICF070-NW40/配管長:49mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
HGM / HGM2 専用 オプション
| ジャケットヒータ | HGM-JH01 | HGM(2)-202/302用、電源電圧：AC120V/200W、センサー加熱温度(均一時)：200℃±5℃ |
HGM / HGM2 専用 消耗品
| 分析管 | HGM-AN202 | HGM(2)-202/302用 |
| フィラメント／リペアーキット | QFL-001 | HGM(2)-202/302用 |
| イオンソース | QIS-001 | HGM(2)-202/302用 |
| 2次電子増倍管 | QEM-001 | HGM(2)-202/302、RGM(2)-202/302共用 |
