スパッタリングプロセス
スパッタリングプロセスの導入・購入・検討について
プロセスガスモニタQulee CGM2シリーズは、スパッタリングプロセス向けのガス分析装置になります。リーク監視、残留水分、その他不純物の監視に最適です。歩留まり管理、生産効率の向上を実現します。
スパッタリングプロセス
CGM2-051 / 052
高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。
スパッタリングプロセス
CGM2-101 / 102
New Product
高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。