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スパッタリングプロセス
Qulee CGM2シリーズ
CGM2-051 / 052
アルバック
高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理（品質向上、歩留まり向上）に最適です。
特長
- スパッタリングプロセスに最適
- Air Leak監視
- 残留水分管理
- プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
- 高感度リークテストが可能(CGM2-052)、リークテスト機能の充実
- 全圧測定が可能
- 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
- 簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
- Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
- CE標準対応
用途
- スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に
- スパッタリング装置のリークテストに
仕様
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型式 | CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |||
| 質量数範囲 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ファラデーカップ | ||
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | ||
| 最小検知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa | ||
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM) | ||
| リニアリティ | 1Pa | |||
| 全圧測定機能 | あり | |||
| DEGAS (デガス) 機能 | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | |||
| One Clickリークチェック機能 | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |||
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | |||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | |||
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ | |||
| 使用温度範囲 | 10～40℃ | |||
| インターフェース | Ethernet | |||
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 | |||
| 適合規格 | CE | |||
該非判定結果報告書
ダウンロード
SDSダウンロード
オプションパーツ・消耗品
Qulee共通 オプション
| ACアダプタ | AC100-240V用電源 | Qulee本体用/スイッチングハブ用 | |
| 電源ケーブル | QPC-KR | 韓国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-CN | 中国仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-DE | ドイツ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| 電源ケーブル | QPC-US | アメリカ仕様 | 別途ACアダプタ要 |
| スイッチングハブ | FL Switch 1008N(8 port) | DC24V | チャンネル数:8、W23✕D93✕H141mm |
| USB-有線LANアダプタ | LUA4-U3-AGTE | USBー有線LAN変換機 | 仕様：USB3.0対応 |
| LANケーブル | QLC-030 | 3m、Qulee本体には標準付属 | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-050 | 5m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-100 | 10m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-0150 | 15m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-200 | 20m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-300 | 30m | 単線／2重シールド仕様 |
| LANケーブル | QLC-500 | 50m | 単線／2重シールド仕様 |
| I型配管 | C70-NW16 | ICF070-NW16/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW25 | ICF070-NW25/配管長:46mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
| I型配管 | C70-NW40 | ICF070-NW40/配管長:49mm | ICFガスケット、NW/クランプ･センタリング付 |
CGM / CGM2 専用 オプション
| ジャケットヒータ | CGM-JH01 | CGM(2)共用、電源電圧：AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時)：110℃±20℃ |
| ジャケットヒータ | CGM-JH02 | CGM(2)-QIP共用、電源電圧：AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時)：110℃±20℃ |
| QIP仕様 | QIP-PG | CGM(2)共用、電源電圧：AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時)：110℃±20℃ |
CGM / CGM2 専用 消耗品
| 分析管 | CGM-AN51 | CGM(2)-051/101共用 |
| 分析管 | CGM-AN52 | CGM(2)-052/102共用 |
| イオンソース | CGM-IS01 | CGM(2)全機種共用 |
| 2次電子増倍管 | CGM-EM01 | CGM(2)-052/102共用 |
