CGM2-101 / 102|Qulee CGM2シリーズ|スパッタリングプロセス|ガス分析計(プロセスガスモニタ)|製品情報|ULVAC SHOWCASE

スパッタリングプロセス

Qulee CGM2シリーズ

CGM2-101 / 102

アルバック

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高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガスモニタ(RGA)です。
各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にしたプロセスモニタの新スタンダードの登場です。
スパッタリング装置のプロセス管理(品質向上、歩留まり向上)に最適です。

特長

  • スパッタリングプロセスに最適
  • Air Leak監視
  • 残留水分管理
  • 洗浄液の残渣
  • ガルデンなどの冷媒漏れ
  • 残留ハイドロカーボン監視
  • プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要・・・1Pa以下測定可能、省スペース化可能
  • 高感度リークテストが可能(CGM2-102)、リークテスト機能の充実
  • 全圧測定が可能
  • 表示部一体型の設計・・・パソコンレスでも測定可能
  • 簡単操作 - One Click 機能・・・だれにでも簡単、複雑な操作は不要
  • Qulee QCSソフトウエアが標準搭載
  • CE標準対応

用途

  • スパッタリング装置の残留ガス分析、プロセスモニタ、不純物 (H2O) 管理に
  • スパッタリング装置のリークテストに

仕様

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型式 CGM2-051 CGM2-101 CGM2-052 CGM2-102
質量分離方式 四重極型質量分析計
質量数範囲 1~50 amu 1~100 amu 1~50 amu 1~100 amu
検出器 ファラデーカップ 二次電子増倍管/ファラデーカップ
感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
最小検知分圧 1x10-7Pa 1x10-10Pa
最大使用圧力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
リニアリティ 1Pa
全圧測定機能 あり
DEGAS (デガス) 機能 あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA
One Clickリークチェック機能 あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
電源電圧 DC24V±10% 50W
最大ベーキング可能温度
(センサユニット接続時)
120℃
最大ベーキング可能温度
(センサユニット脱着時)
250℃
使用温度範囲 10~40℃
インターフェース Ethernet
ソフトウェア Qulee QCS Ver.4.2以降(Windows 8/10/11)対応
適合規格 CE

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

Qulee共通 オプション
ACアダプタ   AC100-240V用電源 Qulee本体用/スイッチングハブ用
電源ケーブル QPC-KR 韓国仕様 別途ACアダプタ要
電源ケーブル QPC-CN 中国仕様 別途ACアダプタ要
電源ケーブル QPC-DE ドイツ仕様 別途ACアダプタ要
電源ケーブル QPC-US アメリカ仕様 別途ACアダプタ要
スイッチングハブ FL Switch 1008N(8 port) DC24V チャンネル数:8、W23✕D93✕H141mm
USB-有線LANアダプタ LUA4-U3-AGTE USBー有線LAN変換機 仕様:USB3.0対応
LANケーブル QLC-030 3m、Qulee本体には標準付属 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-050 5m 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-100 10m 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-0150 15m 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-200 20m 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-300 30m 単線/2重シールド仕様
LANケーブル QLC-500 50m 単線/2重シールド仕様
I型配管 C70-NW16 ICF070-NW16/配管長:46mm ICFガスケット、NW/クランプ・センタリング付
I型配管 C70-NW25 ICF070-NW25/配管長:46mm ICFガスケット、NW/クランプ・センタリング付
I型配管 C70-NW40 ICF070-NW40/配管長:49mm ICFガスケット、NW/クランプ・センタリング付
CGM / CGM2 専用 オプション
ジャケットヒータ CGM-JH01 CGM(2)共用、電源電圧:AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時):110℃±20℃
ジャケットヒータ CGM-JH02 CGM(2)-QIP共用、電源電圧:AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時):110℃±20℃
QIP仕様 QIP-PG CGM(2)共用、電源電圧:AC100V/100W、センサー加熱温度(均一時):110℃±20℃
CGM / CGM2 専用 消耗品
分析管 CGM-AN51 CGM(2)-051/101共用
分析管 CGM-AN52 CGM(2)-052/102共用
イオンソース CGM-IS01 CGM(2)全機種共用
2次電子増倍管 CGM-EM01 CGM(2)-052/102共用

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

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