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触針式プロファイラ
Alpha-Step Dシリーズ
Alpha-Step D-500
アルバック
Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。
※日本国内販売のみ
充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。
※日本国内販売のみ
特長
- ワイドな垂直測定レンジ（最大1200μm）
- 優れた段差測定再現性（1σ＝0.5nm/1μm段差）
- 低針圧測定（0.03mg ～ 15mg）
- 観察用カラーカメラ（4Xデジタルズーム付）
- キーストーン画像補正機能
【D-500】
- Φ140mm（移動範囲：80×20mm）手動ステージ
- 省スペース（本体サイズ：W250×D390mm）
【D-600】
- Φ200mm（移動範囲150×178mm）電動ステージ
- 自動シーケンス測定（20サイト）
- 3Dイメージング（オプション）
用途
試料表面の段差（膜厚）、粗さ、うねり（ストレス）、形状の測定
仕様
| Alpha-Step D-500 | Alpha-Step D-600 | |
| 測定長さ | 30mm | 55mm |
| サンプルステージ直径 | 140mm | 200mm |
| XYステージ移動範囲 | 80×20mm 手動 | 150×178mm 電動プログラマブル |
| θステージ | 360° 手動 | |
| サンプル厚さ（最大） | 20mm | 30mm |
| サンプル観察 | 視野3.76×3.12mm、4Xデジタルズーム付、サイドビュー | |
| 段差測定再現性 | 1σ＝0.5nm （1μm標準試料） | |
| 垂直測定レンジ（最大） | 1200μm | |
| 垂直測定分解能（最高） | 0.038nm （2.5μmレンジ） | |
| 針圧範囲 | 0.03～15mg | |
| 触針先端半径 | 5.0μmR | |
| プロファイルデータポイント | 120,000 | |
| 自動シーケンス測定 | - | 20サイト オプション：1,000サイト |
| Apex 2D/3D解析 | オプション：2D | オプション：2D/3D |
| ストレス測定 | オプション（2Dストレス） | |
| プロファイルスティッチング | 標準 | 標準（自動） |
| オートレベリング | 標準（ソフト） | |
| アークモーション補正 | 標準 | |
| OS | Windows 10 | |
| 電源 | AC90-260V、50/60Hz、500VA | |
| 外形寸法（W×D×H)/重量 | 250×390×240mm / 13.6kg | 370×580×310mm / 40.8kg |
| （本体測定部のみ、PC・モニタ等は含まず） | ||
