触針式プロファイラ P-170

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P-170の導入・購入・検討について

P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。
搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン認識機能などを標準装備していますので、カセットを置くだけの自動測定が可能です。※日本国内販売のみ

特長

ウェーハ自動搬送機構
・Φ200mmシングルオープンカセット対応
・デュアルオープンカセット対応可（オプション）
・ウェーハ搬送ロボット、非接触プレアライナ
・Φ75mm～Φ150mm対応可（オプション）

半導体、電子部品等の生産ラインでの膜厚、形状、粗さ検査

■標準仕様

カセットステーション	シングルオープンカセット（デュアルカセットオプション）
ウェーハサイズ	Φ200mm（オプション：Φ75mm/Φ100mm/Φ125mm/Φ150mm）
プレアライナ	非透明ウェーハ用（オプション：透明ウェーハ対応）
測定長さ（最大）	200mm
サンプルステージ直径	Φ200mm
XYステージ移動範囲	Φ200mm　電源プログラマブル
サンプル観察	デュアルビュー（サイド+トップ）3.5×カラーカメラ
	視野：サイドビュー0.85×1.2mm/トップビュー1.4×1.4mm
段差測定再現性	1σ＝0.4mm（1μm標準試料）
垂直測定レンジ（最大）	327μm（オプション：1000μm）
垂直測定分解能（最高）	0.001nm（13μmレンジ）
針圧範囲	0.5～50mg（オプション：0.03～50mg/測定レンジ131μm）
触針先端半径	標準　2μm
自動シーケンス測定	標準　最高1,000サイト
パターン認識機能	標準
ストレス測定	オプション（2D/3D）
Apex2D/3D解析	標準：Apex2D（オプション：Apex3D）
OS	Windows 10
電源	AC90-230V、50/60Hz、500VA
外形寸法（W×D×H）	1180×1350×1790mm（オプション除振台、モニタ等含む）
質量	約660kg（オプション除振台、モニタ等含む）

■オプション

上位通信GEM/SECS	上位通信インターフェース（通信ソフトウェアは含まず）
カセットロケータ	75mm/100mm/125mm/150mmオープンカセット用各種
透明基板アライメント	透明基板対応のプレアライナ
デュアルカセット	2カセット対応
ウェハーマップ	カセット内のウェーハ有無を検出　シングル/デュアルカセット
シグナルタワー	5色（RYGBW）ブザー付
イオナイザー	ウェハの除電用

特長

ウェーハ自動搬送機構
・Φ200mmシングルオープンカセット対応
・デュアルオープンカセット対応可（オプション）
・ウェーハ搬送ロボット、非接触プレアライナ
・Φ75mm～Φ150mm対応可（オプション）

ウェーハ面内を自動測定
・高精度自動X-Y-θステージ採用
・1,000サイトまで測定位置を登録可能
・パターン認識機能による測定位置補正

仕様

■標準仕様

カセットステーション	シングルオープンカセット（デュアルカセットオプション）
ウェーハサイズ	Φ200mm（オプション：Φ75mm/Φ100mm/Φ125mm/Φ150mm）
プレアライナ	非透明ウェーハ用（オプション：透明ウェーハ対応）
測定長さ（最大）	200mm
サンプルステージ直径	Φ200mm
XYステージ移動範囲	Φ200mm　電源プログラマブル
サンプル観察	デュアルビュー（サイド+トップ）3.5×カラーカメラ
	視野：サイドビュー0.85×1.2mm/トップビュー1.4×1.4mm
段差測定再現性	1σ＝0.4mm（1μm標準試料）
垂直測定レンジ（最大）	327μm（オプション：1000μm）
垂直測定分解能（最高）	0.001nm（13μmレンジ）
針圧範囲	0.5～50mg（オプション：0.03～50mg/測定レンジ131μm）
触針先端半径	標準　2μm
自動シーケンス測定	標準　最高1,000サイト
パターン認識機能	標準
ストレス測定	オプション（2D/3D）
Apex2D/3D解析	標準：Apex2D（オプション：Apex3D）
OS	Windows 10
電源	AC90-230V、50/60Hz、500VA
外形寸法（W×D×H）	1180×1350×1790mm（オプション除振台、モニタ等含む）
質量	約660kg（オプション除振台、モニタ等含む）

■オプション

上位通信GEM/SECS	上位通信インターフェース（通信ソフトウェアは含まず）
カセットロケータ	75mm/100mm/125mm/150mmオープンカセット用各種
透明基板アライメント	透明基板対応のプレアライナ
デュアルカセット	2カセット対応
ウェハーマップ	カセット内のウェーハ有無を検出　シングル/デュアルカセット
シグナルタワー	5色（RYGBW）ブザー付
イオナイザー	ウェハの除電用