触針式プロファイラ P-17 OF

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P-17 OFの導入・購入・検討について

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P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ

特長

優れた段差測定再現性（1σ＝0.4nm/1μm段差）
自動シーケンス測定機能（標準20サイト、オプション1000サイト）
3タイプの測定ヘッド（標準/低針圧/拡張レンジ）
Apex 2D 解析/レポートソフトウェア

【P-7】

Φ150mm電動ステージ
長距離測定（最大150mm）
シングルビューカメラ（トップ/サイドから選択可）
2Dストレス/3D解析ソフト（オプション）

【P-17】

Φ200mm電動ステージ
電動θステージ（±360°）
デュアルビューカメラ（トップ＋サイド）
3Dストレス（オプション）
最大Φ300mmまで対応するOF（オープンフレーム）タイプを設定

用途

試料表面の段差（膜厚）、粗さ、うねり（ストレス）、形状の測定

仕様

	P-7	P-17	P-17 OF
測定長さ	150mm	200mm
サンプルステージ直径	150mm	200mm	240×240mm オプション：Φ300mm
XYステージ移動範囲	Φ150mm　電動プログラマブル	Φ200mm　電動プログラマブル
θステージ	360°手動	360°電動プログラマブル
サンプル厚さ（最大）	55mm
サンプル観察	・シングルビュー（トップorサイドを選択）・4Xデジタルズーム付き・サイドビュー：視野1.05×0.85mm ・トップビュー：視野1.7×1.4mm	・デュアルビュー（トップ＋サイド）・3.5X光学ズーム付き・サイドビュー：視野0.85×1.2mm ・トップビュー：視野1.4×1.4mm
段差測定再現性	1σ＝0.4nm （1μm標準試料）
垂直測定レンジ（最大）	327μm　　オプション：1000μm
垂直測定分解能（最高）	0.001nm （6.5μmレンジ）
針圧範囲	0.5～50mg　　オプション：0.03～50mg（測定レンジ 131μm）
触針先端半径	2μmR
プロファイルデータポイント	4,000,000
自動シーケンス測定	20サイト　　オプション：1,000サイト
ストレス測定	オプション：2Dストレス	オプション：2D/3Dストレス
パターン認識	オプション
プロファイルスティッチング	標準
オートレベリング	標準
Apex 2D/3D解析	標準：2D	オプション：3D
OS	Windows 10
電源	AC90-230V、50/60Hz、500VA
外形寸法（W×D×H) / 重量	570×670×430mm / 80kg	560×780×430mm / 100kg	740×970×430mm / 109kg
	（本体測定部のみ、PC・モニタ含まず）

特長

優れた段差測定再現性（1σ＝0.4nm/1μm段差）

自動シーケンス測定機能（標準20サイト、オプション1000サイト）

3タイプの測定ヘッド（標準/低針圧/拡張レンジ）

Apex 2D 解析/レポートソフトウェア

【P-7】

Φ150mm電動ステージ

長距離測定（最大150mm）

シングルビューカメラ（トップ/サイドから選択可）

2Dストレス/3D解析ソフト（オプション）

【P-17】

Φ200mm電動ステージ

電動θステージ（±360°）

デュアルビューカメラ（トップ＋サイド）

3Dストレス（オプション）

最大Φ300mmまで対応するOF（オープンフレーム）タイプを設定

仕様

	P-7	P-17	P-17 OF
測定長さ	150mm	200mm
サンプルステージ直径	150mm	200mm	240×240mm オプション：Φ300mm
XYステージ移動範囲	Φ150mm　電動プログラマブル	Φ200mm　電動プログラマブル
θステージ	360°手動	360°電動プログラマブル
サンプル厚さ（最大）	55mm
サンプル観察	・シングルビュー（トップorサイドを選択）・4Xデジタルズーム付き・サイドビュー：視野1.05×0.85mm ・トップビュー：視野1.7×1.4mm	・デュアルビュー（トップ＋サイド）・3.5X光学ズーム付き・サイドビュー：視野0.85×1.2mm ・トップビュー：視野1.4×1.4mm
段差測定再現性	1σ＝0.4nm （1μm標準試料）
垂直測定レンジ（最大）	327μm　　オプション：1000μm
垂直測定分解能（最高）	0.001nm （6.5μmレンジ）
針圧範囲	0.5～50mg　　オプション：0.03～50mg（測定レンジ 131μm）
触針先端半径	2μmR
プロファイルデータポイント	4,000,000
自動シーケンス測定	20サイト　　オプション：1,000サイト
ストレス測定	オプション：2Dストレス	オプション：2D/3Dストレス
パターン認識	オプション
プロファイルスティッチング	標準
オートレベリング	標準
Apex 2D/3D解析	標準：2D	オプション：3D
OS	Windows 10
電源	AC90-230V、50/60Hz、500VA
外形寸法（W×D×H) / 重量	570×670×430mm / 80kg	560×780×430mm / 100kg	740×970×430mm / 109kg
	（本体測定部のみ、PC・モニタ含まず）