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触針式プロファイラ
Pシリーズ
P-170
アルバック
P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。
搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン認識機能などを標準装備していますので、カセットを置くだけの自動測定が可能です。※日本国内販売のみ
搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン認識機能などを標準装備していますので、カセットを置くだけの自動測定が可能です。※日本国内販売のみ
特長
- ウェーハ自動搬送機構
・Φ200mmシングルオープンカセット対応
・デュアルオープンカセット対応可（オプション）
・ウェーハ搬送ロボット、非接触プレアライナ
・Φ75mm～Φ150mm対応可（オプション）
- ウェーハ面内を自動測定
・高精度自動X-Y-θステージ採用
・1,000サイトまで測定位置を登録可能
・パターン認識機能による測定位置補正
用途
半導体、電子部品等の生産ラインでの膜厚、形状、粗さ検査
仕様
■標準仕様
| カセットステーション | シングルオープンカセット（デュアルカセットオプション） |
| ウェーハサイズ | Φ200mm（オプション：Φ75mm/Φ100mm/Φ125mm/Φ150mm） |
| プレアライナ | 非透明ウェーハ用（オプション：透明ウェーハ対応） |
| 測定長さ（最大） | 200mm |
| サンプルステージ直径 | Φ200mm |
| XYステージ移動範囲 | Φ200mm 電源プログラマブル |
| サンプル観察 | デュアルビュー（サイド+トップ）3.5×カラーカメラ |
| 視野：サイドビュー0.85×1.2mm/トップビュー1.4×1.4mm | |
| 段差測定再現性 | 1σ＝0.4mm（1μm標準試料） |
| 垂直測定レンジ（最大） | 327μm（オプション：1000μm） |
| 垂直測定分解能（最高） | 0.001nm（13μmレンジ） |
| 針圧範囲 | 0.5～50mg（オプション：0.03～50mg/測定レンジ131μm） |
| 触針先端半径 | 標準 2μm |
| 自動シーケンス測定 | 標準 最高1,000サイト |
| パターン認識機能 | 標準 |
| ストレス測定 | オプション（2D/3D） |
| Apex2D/3D解析 | 標準：Apex2D（オプション：Apex3D） |
| OS | Windows 10 |
| 電源 | AC90-230V、50/60Hz、500VA |
| 外形寸法（W×D×H） | 1180×1350×1790mm（オプション除振台、モニタ等含む） |
| 質量 | 約660kg（オプション除振台、モニタ等含む） |
■オプション
| 上位通信GEM/SECS | 上位通信インターフェース（通信ソフトウェアは含まず） |
| カセットロケータ | 75mm/100mm/125mm/150mmオープンカセット用各種 |
| 透明基板アライメント | 透明基板対応のプレアライナ |
| デュアルカセット | 2カセット対応 |
| ウェハーマップ | カセット内のウェーハ有無を検出 シングル/デュアルカセット |
| シグナルタワー | 5色（RYGBW）ブザー付 |
| イオナイザー | ウェハの除電用 |
