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触針式プロファイラ

Pシリーズ

P-17 OF

アルバック

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。
さまざまな表面形状を迅速かつ高精度に評価することができます。※日本国内販売のみ

特長

  • 優れた段差測定再現性(1σ=0.4nm/1μm段差)
  • 自動シーケンス測定機能(標準20サイト、オプション1000サイト)
  • 3タイプの測定ヘッド(標準/低針圧/拡張レンジ)
  • Apex 2D 解析/レポートソフトウェア

【P-7】

  • Φ150mm電動ステージ
  • 長距離測定(最大150mm)
  • シングルビューカメラ(トップ/サイドから選択可)
  • 2Dストレス/3D解析ソフト(オプション)

【P-17】

  • Φ200mm電動ステージ
  • 電動θステージ(±360°)
  • デュアルビューカメラ(トップ+サイド)
  • 3Dストレス(オプション)
  • 最大Φ300mmまで対応するOF(オープンフレーム)タイプを設定

用途

試料表面の段差(膜厚)、粗さ、うねり(ストレス)、形状の測定

仕様

P-7 P-17 P-17 OF
測定長さ 150mm 200mm
サンプルステージ直径 150mm 200mm 240×240mm
オプション:Φ300mm
XYステージ移動範囲 Φ150mm 電動プログラマブル Φ200mm 電動プログラマブル
θステージ 360°手動 360°電動プログラマブル
サンプル厚さ(最大) 55mm
サンプル観察 ・シングルビュー
(トップorサイドを選択)
・4Xデジタルズーム付き
・サイドビュー:
視野1.05×0.85mm
・トップビュー:
視野1.7×1.4mm
・デュアルビュー(トップ+サイド)
・3.5X光学ズーム付き
・サイドビュー:視野0.85×1.2mm
・トップビュー:視野1.4×1.4mm
段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料)
垂直測定レンジ(最大) 327μm  オプション:1000μm
垂直測定分解能(最高) 0.001nm (6.5μmレンジ)
針圧範囲 0.5~50mg  オプション:0.03~50mg(測定レンジ 131μm)
触針先端半径 2μmR
プロファイルデータポイント 4,000,000
自動シーケンス測定 20サイト  オプション:1,000サイト
ストレス測定 オプション:2Dストレス オプション:2D/3Dストレス
パターン認識 オプション
プロファイルスティッチング 標準
オートレベリング 標準
Apex 2D/3D解析 標準:2D オプション:3D
OS Windows 10
電源 AC90-230V、50/60Hz、500VA
外形寸法(W×D×H) / 重量 570×670×430mm / 80kg 560×780×430mm / 100kg 740×970×430mm / 109kg
(本体測定部のみ、PC・モニタ含まず)

該非判定結果報告書
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SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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