RF電源オプション

EXNシリーズ

EXN3T-40A

アルバック

EXNシリーズはターゲット切替器であり、複数のDCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて1つの電極へ供給する事ができます

特長

  • マッチングボックスの出力を切り替えることが可能です。
  • カソード別にマッチングボックスを設置する必要が無いため、装置コストダウンに大きく貢献します。
  • 切替方式は手動とモーター駆動の2種類を用意しています。また、より大電力対応の水冷方式も準備しました。
  • DC電源、DCパルス電源出力の切替機としても使用可能です。
  • マッチングボックスは1台となるため、整合範囲を超える負荷同士は使用することができません。

仕様

仕様 空冷ターゲット切替器 仕様
EXN2T-40A EXN3T-40A EXN4T-40A EXN2M-40A EXN3M-40A EXN4M-40A
切替接点数 2点 3点 4点 2点 3点 4点
ホットスイッチ 不可
使用周波数 DC-13.56MHz
定格通電電流 40A
耐電圧 接点間 AC 10kV 1分間(50/60Hz)
接点-GND間 AC 10kV 1分間(50/60Hz)
切替方式 手動式 電動式
モータ定格電圧 DC24V
モータ定格電流 0.22A (0.75Amax)
接点位置出力 マイクロスイッチ(接点容量 0.25A 24VDC)
冷却方式 自然風冷
高周波接続用端子 O4mmボルト止め
設置場所温度 5℃~35℃
設置場所湿度 30%~80% (ただし結露無きこと)

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