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RF電源オプション

EXNシリーズ

EXN4T-70W

アルバック

EXNシリーズはターゲット切替器であり、複数のＤＣスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて１つの電極へ供給する事ができます

特長

マッチングボックスの出力を切り替えることが可能です。
カソード別にマッチングボックスを設置する必要が無いため、装置コストダウンに大きく貢献します。
切替方式は手動とモーター駆動の2種類を用意しています。また、より大電力対応の水冷方式も準備しました。
DC電源、DCパルス電源出力の切替機としても使用可能です。
マッチングボックスは1台となるため、整合範囲を超える負荷同士は使用することができません。

仕様

仕様	水冷ターゲット切替器　仕様
	EXN2T-70W	EXN3T-70W	EXN4T-70W	EXN2M-70W	EXN3M-70W	EXN4M-70W
切替接点数	2点	3点	4点	2点	3点	4点
ホットスイッチ	不可
使用周波数	DC-13.56MHz
定格通電電流	70A
耐電圧	接点間　AC 10kV 1分間（50/60Hz）
	接点-GND間　AC 10kV 1分間（50/60Hz）
切替方式	手動式			電動式
モータ定格電圧				DC24V
モータ定格電流				0.22A (0.75Amax)
接点位置出力	マイクロスイッチ（接点容量 0.25A 24VDC）
冷却方式	水冷
冷却流量	5L/min
耐圧	0.5MPa
継ぎ手	3/8インチ　N2チューブ用ジョイント
高周波接続用端子	O4mmボルト止め
設置場所温度	5℃～35℃
設置場所湿度	30%～80% (ただし結露無きこと)

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アルバックのRF電源　3つのメリットとは？

RF電源オプション

EXNシリーズ

EXN4T-70W

EXNシリーズはターゲット切替器であり、複数のＤＣスパッタ用電極やRFスパッタ用電極などに対し、電力の供給先を切替える為に使用し、または複数のDC電源やRF電源の出力を切替えて１つの電極へ供給する事ができます

特長

マッチングボックスの出力を切り替えることが可能です。
カソード別にマッチングボックスを設置する必要が無いため、装置コストダウンに大きく貢献します。
切替方式は手動とモーター駆動の2種類を用意しています。また、より大電力対応の水冷方式も準備しました。
DC電源、DCパルス電源出力の切替機としても使用可能です。
マッチングボックスは1台となるため、整合範囲を超える負荷同士は使用することができません。

仕様

仕様	水冷ターゲット切替器　仕様
	EXN2T-70W	EXN3T-70W	EXN4T-70W	EXN2M-70W	EXN3M-70W	EXN4M-70W
切替接点数	2点	3点	4点	2点	3点	4点
ホットスイッチ	不可
使用周波数	DC-13.56MHz
定格通電電流	70A
耐電圧	接点間　AC 10kV 1分間（50/60Hz）
	接点-GND間　AC 10kV 1分間（50/60Hz）
切替方式	手動式			電動式
モータ定格電圧				DC24V
モータ定格電流				0.22A (0.75Amax)
接点位置出力	マイクロスイッチ（接点容量 0.25A 24VDC）
冷却方式	水冷
冷却流量	5L/min
耐圧	0.5MPa
継ぎ手	3/8インチ　N2チューブ用ジョイント
高周波接続用端子	O4mmボルト止め
設置場所温度	5℃～35℃
設置場所湿度	30%～80% (ただし結露無きこと)